En Ru
Полуавтоматическая установка проявления Фоторезиста
Полуавтоматическая установка проявления Фоторезиста
Полностью автоматические системы обратной (взрывной) литографии используются в процессах производства полупроводников, связанных с фотолитографическими материалами.
Технологическая система, которая обеспечивает формирование топологического рисунка (маски) на поверхностях полупроводниковых пластин.
Области применения
-
Микроэлектроника и полупроводниковое производство - MEMS/NEMS устройства
- Фотоника и оптоэлектроника
- Датчики и сенсоры
- Наноэлектроника
- СВЧ-устройства
- Линейки и кристаллы лазерных диодов и матриц
- Радиочастотные метаматериалы
Преимущества
- Обратная (взрывная) литографияПолностью автоматические системы обратной (взрывной) литографии используются в процессах производства полупроводников, связанных с фотолитографическими материалами.
- Роботизируемое перемещение подложекПолностью автоматизированная система с роботизируемым перемещением подложек имеет удобный рабочий интерфейс и гибкую конфигурацию процесса. Системы поддерживают 3-8 дюймовые пластины.
- Особые требования при работе с материаламиДля обратной литографии предъявляются особые требования: отрицательный наклон боковых стенок, высокая температурная стабильность, низкая дегазация в вакууме.
Характеристики
Автоматическая установка взрывной литографии (Lift-Off)
предназначена для обработки пластин диаметром 76 и 100мм, материал пластин: GaAs, Si, SiCТехнические характеристики:
- предназначена для обработки пластин диаметром 76 и 100мм
- материал пластин: GaAs, Si, SiC
- процесс: перегрузка пластин из транспортировочной кассеты во внутреннюю кассету - обработка в модуле замачивания - снятие резиста в модуле обработки под высоким давлением, обычным давлением, отмывка обратной стороны - отмывка в модуле очистки (изопропиловый спирт - двухэтапная отмывка д.и. водой - сушка азотом) - выгрузка в транспортировочную кассету)
- габаритные размеры ШхГхВ: 1900 х 1800 х 2100 мм
- вес: примерно 1500г
- кассетная станция загрузки/выгрузки - 2 шт
- перегрузочный робот с 4мя манипуляторами
- модуль центрирования
- модуль ультразвукового замачивания
- модуль снятия резиста
- модуль отмывки
- система подачи химикатов (периферийный модуль)
- система управления на базе промышленного ПК
- система желтого освещения
- ФВМ класс 100 - 3 компл
- система подавления пожара (углекислый газ)
- Гарантия - Стандартный срок гарантии составляет 1 год (12 месяцев) с момента завершения процедуры запуска оборудования, либо по прошествии 1 месяца со дня отгрузки оборудования на склад Клиента
Получите коммерческое предложение
и дополнительную информацию по Вашему запросу
Позвоните нам по телефону +7 (495) 150 95 46
или отправьте заявку в этой форме
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.