Оборудование
/
DTX - Установка алмазного скрайбирования

Установка пошаговой проекционной литографии ASML TWINSCAN 90 н

Полностью автоматические системы обратной (взрывной) литографии используются в процессах производства полупроводников, связанных с фотолитографическими материалами.

Технологическая система, которая обеспечивает формирование топологического рисунка (маски) на поверхностях полупроводниковых пластин.

Получить предложение

Области применения

Микроэлектроника и полупроводниковое производство
MEMS/NEMS устройства
Фотоника и оптоэлектроника
Датчики и сенсоры
Наноэлектроника
СВЧ-устройства
Линейки и кристаллы лазерных диодов и матриц
Радиочастотные метаматериалы

Преимущества

Обратная (взрывная) литография

Полностью автоматические системы обратной (взрывной) литографии используются в процессах производства полупроводников, связанных с фотолитографическими материалами.
Роботизируемое перемещение подложек

Полностью автоматизированная система с роботизируемым перемещением подложек имеет удобный рабочий интерфейс и гибкую конфигурацию процесса. Системы поддерживают 3-8 дюймовые пластины.
Особые требования при работе с материалами

Для обратной литографии предъявляются особые требования: отрицательный наклон боковых стенок, высокая температурная стабильность, низкая дегазация в вакууме.

Характеристики

Автоматическая установка взрывной литографии (Lift-Off)

предназначена для обработки пластин диаметром 76 и 100мм, материал пластин: GaAs, Si, SiC

Технические характеристики:

предназначена для обработки пластин диаметром 76 и 100мм
материал пластин: GaAs, Si, SiC
процесс: перегрузка пластин из транспортировочной кассеты во внутреннюю кассету - обработка в модуле замачивания - снятие резиста в модуле обработки под высоким давлением, обычным давлением, отмывка обратной стороны - отмывка в модуле очистки (изопропиловый спирт - двухэтапная отмывка д.и. водой - сушка азотом) - выгрузка в транспортировочную кассету)
габаритные размеры ШхГхВ: 1900 х 1800 х 2100 мм
вес: примерно 1500г
кассетная станция загрузки/выгрузки - 2 шт
перегрузочный робот с 4мя манипуляторами
модуль центрирования
модуль ультразвукового замачивания
модуль снятия резиста
модуль отмывки
система подачи химикатов (периферийный модуль)
система управления на базе промышленного ПК
система желтого освещения
ФВМ класс 100 - 3 компл
система подавления пожара (углекислый газ)

Срок поставки – 9 месяцев

Гарантия - Стандартный срок гарантии составляет 1 год (12 месяцев) с момента завершения процедуры запуска оборудования, либо по прошествии 1 месяца со дня отгрузки оборудования на склад Клиента

Получите коммерческое предложение

и дополнительную информацию по Вашему запросу

Получить предложение

Позвоните нам по телефону +7 (495) 150 95 46

или отправьте заявку в этой форме

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.