• /

Datacon 8800 TC Advanced - Установка термокомпрессионного монтажа кристаллов для 3D-микросборок

Производство компании Besi (Австрия)
Термокомпрессионный монтаж является ключевой технологией для современных 2,5D/3D сборок по технологии C2S (chip-to-substrate) и C2W (chip-to-wafer), а TC-CUF-процесс является в настоящее время основным для создания 3D-памяти.

Datacon 8800 TC Advanced задает новый стандарт, основанный на проверенной платформе 8800 с системой управления технологическим процессом, расширенными возможностями и непревзойденной повторяемостью. Благодаря полностью обновлённой передовой аппаратной архитектуре, уникальной 7-осевой монтажной голове и усовершенствованным технологическим возможностям Datacon 8800 TC Advanced становится основополагающим инструментом для изделий на базе технологии TSV (Through Silicon Vias).


Ключевые особенности
Система управления следующего поколения
  • Новая система управления движением, включая программную и аппаратную части
  • Улучшенное управление траекторией движения - оптимизация времени цикла
  • Повышенная вычислительная мощность - трассировка переменных техпроцесса
Семиосная монтажная голова с усилием монтажа до 250Н
  • 3 привода для позиционирования по X, Y и Theta
  • 2 оси для управления монтажом - Z и W
  • 2 привода для автоматической настройки наклона - A, B
Усовершенствованное управление выходом годных TC-CUF
  • Предотвращение простоя и низкого выхода годных, вызванного флюсом
  • Управление нагревом и охлаждением с помощью профилей
  • Новый термостойкий держатель инструмента с возможностью наклона
  • Точная станция калибровки температуры
Оптимизированный держатель инструмента и оснастка
  • Новая конструкция держателя инструмента - специальный улучшенный механизм электрического контакта
  • Быстрое техническое обслуживание
  • Новая конструкция инструмента - улучшенная точность поддержания температуры нагревателем и оптимизированный материал электрического контакта
Встроенная система мониторинга
  • Настройка окна сигнализации для любых переменных параметров
  • Контроль изменений параметров процесса в окне экстренного сообщения
  • Всплывающее окно ошибки останавливает работу оборудования и выдаёт сигнал тревоги
  • Результаты мониторинга доступны через сетевой протокол SECS/GEM
Станция калибровки температуры
  • Повышенная повторяемость от инструмента к инструменту
  • Система внутрипроцессной проверки температуры от 20 до 240 °C, с точностью до ±1 °C
  • Портативный датчик с возможностью перенести с установки на установку
Повторяемость от установки к установке
  • Портативные рецепты
  • Разделение параметров оборудования и рецепта
  • Автоматическая калибровка
  • Портативное окно сигнализации об ошибке
Спецификация
Опции
Станция флюсования
  • Толщина наносимого слоя флюса: от 5 до 200 мкм в зависимости от установленной оснастки
  • Диапазон вязкости: 2800 - 110 000 сП
Аппаратное обеспечение
  • Платформа открытой архитектуры для полноценной настройки под требования техпроцесса
Программное обеспечение
  • Отслеживание отдельного компонента
  • Карты годности для пластин
  • Сканер штрихкодов
  • Распознавание datamatrix
  • Карты годности для подложек (Semi S12, S14 в G84 и E142)
  • Псевдо рентген
  • Визуальная проверка машинным зрением инструментов для монтажа
  • Визуальная проверка машинным зрением игл для подкола кристалла с плёнки-носителя
  • Визуальная проверка машинным зрением крышки инструмента для подкола кристалла с плёнки-носителя
  • Камера, работающая в режиме реального времени, для мониторинга системы подкола кристаллов
  • Задание параметров через сетевой протокол SECS GEM
  • Проверка карт годности по расположенным на границе компонентам
  • Настраиваемый уровень доступа к оборудованию
  • Дополнительная проверка отпечатка флюса
  • Визуальная проверка сколов на кристаллах
  • Автоматическая подсветка
  • Распределённый монтаж
  • Управление партиями
  • Полный монтаж
  • Задаваемое медленное перемещение (по расстоянию или скорости)
  • Измерение расстояния между смонтированными компонентами
  • Индивидуально задаваемое смещение для позиции монтажа
  • Обнаружение уровня флюса
Оставьте заявку
И получите дополнительную информацию и коммерческое предложение по Вашему запросу
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.