Оборудование

Универсальная установка магнетронного напыления тонких плёнок металлов, оксидов и нитридов

Универсальная установка напыления тонких плёнок в сверхвысоком вакууме (Ultra High Vacuum) с использованием различных источников

Универсальная установка напыления тонких плёнок методом термического испарения (Thermal Evaporate System)

Универсальная установка напыления тонких плёнок по методу электронно-лучевого испарения (Electron Beam Evaporation)

Система для формирования тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения

Система для высокоточного и равномерного травления микро и наноструктур в различных материалах

Гибкое решение для плазменного осаждения тонких плёнок из газовой фазы

Решение для плазменного травления кремния, оксидных и нитридных пленок

Универсальное решение для резки и разделения полупроводниковых пластин и подложек, а также широкого профиля иных применений с использованием самых передовых технологий при минимальных финансовых затратах

Решение для автоматической резки и разделения полупроводниковых пластин и подложек в режиме полного цикла

Технологическое решение для высокопроизводительной резки и разделения полупроводниковых пластин и подложек в условиях крупносерийного и массового производства

Компактное и экономичное решение для монтажа полупроводниковых пластин на плёночный носитель

Производительная система для аккуратного, быстрого, бездефектного монтажа любых типов полупроводниковых пластин на плёночный носитель

Компактное и экономичное оборудование для проведения УФ-экспонирования плёночного носителя

Компактное и многофункциональное решение для финишной отмывки и очистки полупроводниковых пластин и подложек по завершении операции дисковой резки