Оборудование для производства микроэлектроники

ООО «ТТМ» поставляет технологическое, измерительное и инженерное оборудование для кристального и сборочного производств микроэлектроники (Front-end и Back-end). Мы предлагаем решения для научно-исследовательских лабораторий, опытных и мелкосерийных производств, а также для массового выпуска полупроводниковых приборов.

Оборудование ТТМ охватывает широкий спектр технологических процессов производства микроэлектроники.

▸Вакуумное и плазмохимическое оборудование — установки магнетронного, электронно-лучевого и термического напыления (Sputter PVD, E-beam PVD, Thermal PVD), атомно-слоевого осаждения (Thermal ALD и PEALD), плазмохимического осаждения (PECVD и HDPCVD), реактивно-ионного травления (RIE и ICP-RIE), удаления и зачистки фоторезиста (Ashing и Descum), а также различные кластерные системы.

▸Оборудование для ионной имплантации — низко-, средне- и высокоэнергетические имплантеры для процессов легирования полупроводниковых материалов.

▸Термическое оборудование — диффузионные печи, установки оксидации, печи осаждения при пониженной давлении (SACVD и LPCVD) и оборудование для быстрых термических процессов (RTP, RTA).

▸Литографическое оборудование — системы нанесения и проявления фоторезиста, спреевого нанесения, лифт-офф (Lift-off), контактной, лазерной, проекционной и электронно-лучевой литографии.

▸Оборудование для жидкостной химической обработки — системы индивидуальной и групповой отмывки и сушки полупроводниковых пластин, химической обработки, жидкостного травления, гальваники и обработки фотошаблонов.

▸Оборудование для механической обработки — установки резки слитков, химико-механической полировки (ХМП), шлифовки, полировки и утонения полупроводниковых пластин.

▸Микросборочное и корпусирующее оборудование — оборудование для резки пластин, монтажа кристаллов, разварки выводов (микросварка), герметизации, скрайбирования, докола и упаковки полупроводниковых компонентов.

▸Измерительное и контрольно-измерительное оборудование — различные виды сканирующих электронных микроскопов (SEM, CD-SEM, FIB-SEM), оптические микроскопы, системы автоматической оптической инспекции (АОИ), ультразвуковой и рентгенографический контроль.

ТТМ не ограничивается поставкой отдельных установок. Мы подбираем оборудование под конкретный технологический процесс, материал, тип производства и требования заказчика, обеспечиваем его интеграцию в технологическую линию и оказываем техническую поддержку.

При необходимости специалисты ТТМ помогают сформировать техническое задание, выбрать оптимальную конфигурацию оборудования, организовать поставку, провести монтаж, пусконаладку и ввод оборудования в эксплуатацию. Компания также выполняет сервисное обслуживание, ремонт и восстановление компонентов оборудования, поставляет запасные части, расходные и технологические материалы.

В производстве микроэлектронных компонентов мелочей не бывает. Даже идеально подобранное под процесс оборудование не даст нужного результата, если внутри стоит изношенный держатель, заканчивается качественный фоторезист или мишень для напыления не соответствует техпроцессу. Вся эта технологическая оснастка и расходные материалы напрямую влияют на выход годных изделий, стабильность процесса и то, как часто оборудование будет простаивать.

Мы осуществляем поставку и помогаем подбирать и то, и другое. Не просто отгружаем позиции из прайс-листа, а разбираемся в задаче: для какой установки, под какой процесс, с какими требованиями по температуре, агрессивной среде и чистоте. Потому что одна и та же внутрикамерная керамика может вести себя по-разному в установке плазменного травления и в оборудовании для высокотемпературной обработки.

Отдельно стоит сказать про подбор. Наши специалисты помогают определить, что именно нужно под ваше оборудование и техпроцесс. Если вы не уверены в модели оснастки или подходящем материале — присылайте описание задачи, фотографии или маркировку установки. Мы уточним требования, предложим варианты и поможем рассчитать, сколько расходных материалов понадобится на партию. Если нужных позиций нет в наличии — также поможем найти аналоги. При необходимости можем помочь и с проектированием отдельных запчастей: специализированной оснастки или держателей. Если поставки расходных материалов планируются на регулярной основе — предлагаем вариант с заключением рамочного договора, определяем нужный объём поставки, выстраиваем график, чтобы у вас не случалось простоев, а у поставщика всегда была возможность отгружать со склада нужное количество.