ООО «ТТМ» предлагает высококачественное вакуумное технологическое оборудование как в виде ручных и полуавтоматических решений, так и в формате интегрированных систем для серийного производства. Одним из ключевых преимуществ является возможность глубокой кастомизации оборудования под конкретные задачи заказчика.
Мы поставляем оборудование для серийного и мелкосерийного производства, а также для научно-исследовательских проектов, обеспечивая разработку и трансфер технологических решений. Наши системы используются в лабораториях и на предприятиях микроэлектроники, полупроводниковой техники, производства плоских дисплеев (FPD), OLED, оптоэлектронных устройств и солнечных элементов.
Предлагаемые технологические решения охватывают следующие процессы:
- магнетронное напыление (PVD),
- осаждение из газовой фазы (CVD, PECVD),
- осаждение из жидкой фазы (LPCVD),
- электронно-лучевое испарение (E-Beam),
- вакуумное термическое напыление,
- атомно-слоевое осаждение (ALD) и атомно-слоевое травление (ALE),
- сухое плазменное травление (RIE / ICP-RIE).
ООО «ТТМ» обеспечивает индивидуальный подбор оборудования, его интеграцию в технологический процесс и последующую техническую поддержку, гарантируя высокую производительность и надежность решений.