Оборудование
/
ALE - Установка атомно-слоевого травления

ALE - Установка атомно-слоевого травления

Производство компании Syskey Technology Co., Ltd. (Тайвань)

Максимальный диаметр пластин: до 12" (300 мм)
Неравномерность травления: менее ±3% (на пластине 200 мм)

Получить предложение

Области применения

Кремний и соединения на его основе (SiO2, Si3N4)
МЭМС
Травление металла, кремния, фоторезиста

Характеристики

Преимущества

Система травления с возможностью работы в режимах ICP, RIE, ALE и DRIE в одной рабочей камере.
РРГ с высокой равномерностью подачи и распределения газа.
Низкое повреждение, высокая скорость процесса, высокое аспектное соотношение.
Прижим пластины с гелиевым охлаждением задней стороны помогает анизотропному травлению.
Для некоторых материалов доступна плазменная очистка.
Душевая головка с радиочастотным питанием и оптимизированным распределением газа.
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Настройка оборудования под требования клиента

Опции

Система автоматической загрузки/выгрузки

Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
Возможность усовершенствования до кластерной системы

Оснащается транспортировочной камерой с роботом и датчиками положения пластины. Можно будет добавлять процессные камеры.
Перчаточный бокс

Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
Совместимость с Endpoint monitors (OES, лазер)

Система обнаружения конечных точек для травления ионным пучком с использованием оптической эмиссионной спектроскопии

Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546

или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.