Меню
En
Ru

Annealing Furnace - Установка для отжига

Производство компании Syskey Technology Co., Ltd. (Тайвань)
  • Максимальный диаметр пластин: до 12" (300 мм)
  • Максимальная температура: до 1700 °C
Получить предложение
Области применения
Полупроводники
МЭМС
Нанотехнологии
Светодиоды
Фотовольтаика
Плоские дисплеи
Характеристики
Преимущества
  1. Опционально ловушка для воды и крио ловушка.
  2. Легко очистить и обслуживать.
  3. Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
  4. Автоматическая система управления, сенсорный экран
  5. Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура)
  6. Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
  7. Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
  8. Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
  9. Настройка оборудования под требования клиента
Опции
  • 1
    Система автоматической загрузки/выгрузки
    Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
  • 2
    Перчаточный бокс
    Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.