En Ru
Области применения
Полупроводниковые приборы
Нанотехнологии
Исследования нанесения тонкоплёночных покрытий
Напыление металлов, оксидов и нитридов
Напыление композитных плёнок
Солнечные батареи и оптические устройства
Характеристики
Преимущества
- Гибкий подбор размеров вакуумной камеры зависящий от размера подложки и области применения
- Полно диапазонный датчик вакуума с цифровым дисплеем и Баратрон для управления давлением в системе по замкнутому контуру
- Несколько испарителей с последовательной работой или совместным напылением
- ВЧ-, НЧ- или импульсные источники для диэлектриков и токопроводящих материалов
- Нанесение многослойных пленок с выбранными материалами
- Регулируемая высота магнетронов, (расстояние между мишенью и подложкой)
- Заслонки для каждой мишени или подложки.
- Возможность оснащения на выбор: турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
- Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
- Автоматическая система управления, сенсорный экран
- Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
- Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
- Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
- Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
- Возможность оснащения блоками высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума
- Настройка оборудования под требования клиента
Опции
- Система автоматической загрузки/выгрузкиПередаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
- Возможность усовершенствования до кластерной системыОснащается транспортировочной камерой с роботом и датчиками положения пластины. Можно будет добавлять процессные камеры.
- Перчаточный боксГерметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
- Различные источники питания для магнетроновВЧ-источники и источники на постоянном токе, в т.ч. импульсные, биполярные и ассиметрично-биполярные
- Датчики толщин наносимых пленокРазличные типы датчиков для определения толщин и характеристик наносимых пленок, включая кварцевые и оптические
- Ионная очистка пластин и подложекИонный источник для очистки подложек, ионно-ассистированного напыления и низкоэнергетического травления
- Системы нагрева и вращения подложекИнтегрированные в подложкодержатель системы нагрева (кондуктивного и конвекционного типа) и вращения подложек
- Полнодиапазонные системы измерения вакуумаА также системы контроля уровня остаточного давления, системы поддержания соотношения газовой смеси в камере и т.д.
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.