Главная / Оборудование / Электронно-лучевое напыление (E-beam PVD)

Электронно-лучевое напыление (E-beam PVD)

Универсальная установка напыления тонких плёнок методом электронно-лучевого испарения (Electron Beam Evaporation)

Получить предложение

Фотоника и оптоэлектроника

Органическая электроника

МЭМС

Кремниевая жлектроника

Силовая электроника

СВЧ

Характеристики

Опции

Общие характеристики

Габариты обрабатываемых пластин и подложек:

диаметр до 300 мм (полупроводниковая пластина) или 470 x 370 мм² (стекло)

Варианты одновременной загрузки пластин:

2" (50мм) х 32 шт,
4" (100мм) х 16 шт,
6" (150мм) х 6 шт,
8" (200мм) х 4 шт

Равномерность по толщине:

менее 3%

Остаточное давление:

<10E-10 Торр

Максимальная температура нагрева подложек:

до 800˚C

Встроенная система безопасности, автоматические блокировки дверей, клапанов и вентилей

Автоматическая система управления, сенсорный экран

Документирование параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления и т,д,)

Управление техпроцессом в реальном времени для исключительного качества и повторяемости толщин плёнок

Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль

Одновременное нанесение различных материалов

Набор тиглей с возможностью последовательного нанесения

Кварцевый датчик толщины для контроля толщины нанесения с обратной связью

Возможность оснащения вакуумными системами высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума

Специальная конфигурация и состав под заказ

Опции

На выбор доступны конфигурации с турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом

Количество тиглей (1, 2, 4, 6 или др.) - указывается перед размещением заказа

Загрузочный шлюз

Охлаждение подложек

Наклон подложек

Доступные опции нагрева подложек: 300 ˚C, 500 ˚C, 800 ˚C

Интеграция с перчаточным боксом (включая шлюз и автоблокировку)

Конструкция механизма вращения подложки для сверхвысоковакуумного напыления и высокотемпературного нагрева. Используется керамический корпус, водяное охлаждение внутри для защиты механизма вращения и обеспечения его стабильной работы на долгое время.

Гибкий подбор размеров вакуумной камеры зависящий от размера подложки и области применения

Полно диапазонный датчик вакуума с цифровым дисплеем и Баратрон для управления давлением в системе по замкнутому контуру

Несколько испарителей с последовательной работой или совместным напылением

ВЧ-, НЧ- или импульсные источники для диэлектриков и токопроводящих материалов

Напыление многослойных плёнок выбранными материалами мишеней

Регулируемая высота магнетронов, (расстояние между мишенью и подложкой)

Позвоните нам по телефону +7 (495) 150 9546

или отправьте заявку в этой форме

[{"lid":"1780647650612","ls":"10","loff":"","li_parent_id":"","li_type":"em","li_ph":"\u0412\u0430\u0448 \u0430\u0434\u0440\u0435\u0441 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0447\u0442\u044b (e-mail) *","li_name":"email","li_req":"y","li_nm":"email"},{"lid":"1780647650613","ls":"20","loff":"","li_parent_id":"","li_type":"nm","li_ph":"\u0424\u0430\u043c\u0438\u043b\u0438\u044f, \u0438\u043c\u044f \u0438 \u043e\u0442\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e *","li_name":"name","li_req":"y","li_nm":"name"},{"lid":"1780648069749","ls":"30","loff":"","li_parent_id":"","li_type":"ph","li_ph":"\u0412\u0430\u0448 \u043d\u043e\u043c\u0435\u0440 \u0442\u0435\u043b\u0435\u0444\u043e\u043d\u0430 *","li_maskcountry":"RU","li_req":"y","li_nm":"Phone"},{"lid":"1780648478847","ls":"40","loff":"","li_parent_id":"","li_type":"rd","li_subtitle":"\u0423\u043a\u0430\u0436\u0438\u0442\u0435, \u043f\u043e\u0436\u0430\u043b\u0443\u0439\u0441\u0442\u0430, \u0442\u0435\u043c\u0443 \u0412\u0430\u0448\u0435\u0433\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043c\u044b \u0441\u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0412\u0430\u043c \u043e\u0442\u0432\u0435\u0442","li_variants":"\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\n\u0420\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0438 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\n\u041e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0441\u0435\u0440\u0432\u0438\u0441\n\u0423\u0441\u043b\u0443\u0433\u0438 \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430","li_radcb":"cb","li_req":"y","li_nm":"Radio"},{"lid":"1780648821138","ls":"50","loff":"","li_parent_id":"","li_type":"ta","li_ph":"\u041e\u043f\u0438\u0448\u0438\u0442\u0435, \u043f\u043e\u0436\u0430\u043b\u0443\u0439\u0441\u0442\u0430, \u0441\u0432\u043e\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0443","li_rows":"1","li_nm":"Textarea"}]

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.