Меню
En
Ru

E-Beam System - Установка электронно-лучевого напыление

Производство компании Syskey Technology Co., Ltd. (Тайвань)
  • Максимальный диаметр пластин: до 12" (300 мм)
  • Уровень остаточного давления: < 1E–8 Торр
  • Неравномерность по толщины напыляемых пленок: 3% и лучше (на пластине 200 мм)
  • Загрузка одной пластины или нескольких: (Ø50 мм – 32 шт, Ø100 мм – 16 шт, Ø150 мм – 6 шт, Ø200 мм – 4 шт
Получить предложение
Области применения
Материалы для оптоэлектроники (LED/лазерные диоды)
Устройства передачи
Полупроводниковые устройства
Характеристики
Преимущества
  1. Полностью открываемая дверь (высоковакуумная камера), два встроенных смотровых окна с заслонками для наблюдения за подложкой и тиглем
  2. Автоматическое управление скоростью осаждения
  3. Возможность одновременной установки нескольких источников с последовательным включением или совместным напылением
  4. Возможность оснащения на выбор: турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
  5. Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
  6. Автоматическая система управления, сенсорный экран
  7. Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
  8. Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
  9. Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
  10. Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
  11. Возможность оснащения блоками высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума
  12. Настройка оборудования под требования клиента
Опции
  • 1
    Система автоматической загрузки/выгрузки
    Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
  • 2
    Перчаточный бокс
    Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
  • 3
    Ионная очистка пластин и подложек
    Ионный источник для очистки подложек, ионно-ассистированного напыления и низкоэнергетического травления
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.