Меню

E-Beam System - Установка электронно-лучевого напыление

  • Максимальный диаметр пластин: до 12" (300 мм)
  • Уровень остаточного давления: < 1E–8 Торр
  • Неравномерность толщины напыляемых пленок: 3% и лучше (на пластине 200 мм)
  • Загрузка одной пластины или нескольких: (Ø50 мм – 32 шт, Ø100 мм – 16 шт, Ø150 мм – 6 шт, Ø200 мм – 4 шт
Характеристики
Опции
  • Система автоматической загрузки/выгрузки
    Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
  • Ионная очистка пластин и подложек
    Ионный источник для очистки подложек, ионно-ассистированного напыления и низкоэнергетического травления
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.