Оборудование
/
E-Beam System - Установка электронно-лучевого напыление

E-Beam System - Установка электронно-лучевого напыление

Максимальный диаметр пластин: до 12" (300 мм)
Уровень остаточного давления: < 1E–8 Торр
Неравномерность по толщины напыляемых пленок: 3% и лучше (на пластине 200 мм)
Загрузка одной пластины или нескольких: (Ø50 мм – 32 шт, Ø100 мм – 16 шт, Ø150 мм – 6 шт, Ø200 мм – 4 шт

Получить предложение

Области применения

Материалы для оптоэлектроники (LED/лазерные диоды)

Устройства передачи

Полупроводниковые устройства

Характеристики

Преимущества

Полностью открываемая дверь (высоковакуумная камера), два встроенных смотровых окна с заслонками для наблюдения за подложкой и тиглем
Автоматическое управление скоростью осаждения
Возможность одновременной установки нескольких источников с последовательным включением или совместным напылением
Возможность оснащения на выбор: турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Возможность оснащения блоками высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума
Настройка оборудования под требования клиента

Опции

Система автоматической загрузки/выгрузки

Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
Перчаточный бокс

Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
Ионная очистка пластин и подложек

Ионный источник для очистки подложек, ионно-ассистированного напыления и низкоэнергетического травления

Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546

или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.