Высокопроизводительное решение для резки и разделения полупроводниковых пластин и подложек, а также широкого профиля иных применений с использованием самых передовых технологий при минимальных финансовых затратах.
Получить предложение
Области применения оборудования
Датчики изображения
МЭМС
Дискретные устройства
Устройства радиочастотной идентификации
Светодиоды
Прочие устройства, требующие длительной резки
Преимущества
Производительность х2
Установка спроектирована с двумя расположенными друг напротив друга шпинделями, одновременно режущими поверхность заготовки, удваивая общую производительность.
Доступность
Малая занимаемая оборудованием площадь в купе с высочайшей производительностью и полной автоматизацией существенно снижает затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание, что на выходе даёт меньшую себестоимость за один кристалл с пластины.
Автоматизация
Прецизионная система технического зрения без проблем выравнивает пластины и делает автоматическую коррекцию взаимного расположения камеры и дискового лезвия, а также проверку линии реза по завершении операции для максимальной точности.
Простота эксплуатации
Установка оборудована сенсорным экраном с диагональю 17 дюймов, простым для восприятия графическим пользовательским интерфейсом для эффективной и интуитивно-понятной работы по заданию параметров, настройке и эксплуатации.
Характеристики
Установки серии 7900 предназначены для высокопроизводительной дисковой резки пластин размером до 250 х 250 мм из различных материалов и оснащены двумя прецизионными высокоскоростным шпинделями диаметром 2 дюйма
Полностью автоматизированный процесс
Два расположенных друг напротив друга шпинделя позволяют проводить сразу два идентичных реза за один проход
Система технического зрения с постоянным цифровым увеличением даёт большую скорость и точность позиционирования для максимального выхода годной продукции
Сенсорный экран монитора и интуитивно-понятный пользовательский интерфейс - всё для удобства эксплуатации
Простой доступ к внутренним частям оборудования для проведения технического обслуживания
Надёжное гранитное основание не подвержено вибрациям
Небольшие габариты для оборудования подобного типа
Оставьте заявку
И получите коммерческое предложение и дополнительную информацию
Получить предложение
Спецификация
Модель;7900;7900 LA
Размер заготовки;до 200 х 200 мм;до 250 х 250
Шпиндель;Два расположенных друг напротив друга с максимальной скоростью 60 000 об/мин, мощностью 1,2 кВт и дисковыми лезвиями размером 2 - 3 дюйма
Шаг реза
Привод осей Y1/Y2;Подающий винт с шарикоподшипником с шаговым двигателем
Управление;Линейный датчик положения
Разрешение; 0,1 мкм
Суммарная точность;1,5 мкм
Точность позиционирования;1,0 мкм
Максимальная величина хода;200 мм (250 мм для модели 7900 LA)
Длина реза
Привод оси X;Подающий винт с шарикоподшипником, на пневмо подвеске
Скорость подачи;До 600 мм/сек
Максимальный диапазон хода;410 мм
Глубина реза
Привод осей Z1/Z2;Подающий винт с шарикоподшипником с шаговым двигателем
Управление;Угловой энкодер
Разрешение; 0,2 мкм
Суммарная точность;2,0 мкм
Точность позиционирования;1,0 мкм
Величина подачи;40 мм
Поворот рабочего стола
Привод по оси Θ;Прямоточный бесщёточный электромотор с обратной связью
Управление;линейный энкодер
Точность позиционирования;4 угл сек
Величина подачи;350 градусов
Система технического зрения
Видеокамера;Цифровая с светодиодной подсветкой высокой яркости (вертикальной и кольцевой)
Постоянное цифровое увеличение; от х70 до х280 или от х35 до х140 (опционально)
Комплектация
Стандартные опции;Автоматическое выравнивание, автоматическая проверка линии реза, автоматическое корректирование относительного расположения лезвия и камеры
Дополнительные опции; Система распознавания сломанного лезвия, шпиндель высокой мощности 2,4 кВт, устройство считывания штрихкодов, станция заточки, GMF, DFM
Пользовательский интерфейс;Плоский сенсорный экран с диагональю 17", поддержка нескольких языков, улучшенный дизайн рабочей программы
Энергоносители
Электропитание;1 фаза, 220-240 В 50/60 Гц
Вода для охлаждения шпинделя;проточная 1,1 л/мин
Вода, подаваемая в зону резки;деионизованная до 3 л/мин
Сжатый воздух; 260 л/мин при давлении 4 - 6 бар
Температура окружающей среды;20 - 25 оС
Относительная влажность воздуха;<70 % (без конденсации)
Требования к размещению;виброзащитное основание
Габаритные размеры оборудования (ДхШхВ);875 х 975 х 1450 мм
Масса оборудования;900 кг
Оставьте заявку
И получите дополнительную информацию и коммерческое предложение по Вашему запросу
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*). Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.