Высокопроизводительное решение для резки и разделения полупроводниковых пластин и подложек, а также широкого профиля иных применений с использованием самых передовых технологий при минимальных финансовых затратах.
Установка спроектирована с двумя расположенными друг напротив друга шпинделями, одновременно режущими поверхность заготовки, удваивая общую производительность.
Доступность
Малая занимаемая оборудованием площадь в купе с высочайшей производительностью и полной автоматизацией существенно снижает затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание, что на выходе даёт меньшую себестоимость за один кристалл с пластины.
Автоматизация
Прецизионная система технического зрения без проблем выравнивает пластины и делает автоматическую коррекцию взаимного расположения камеры и дискового лезвия, а также проверку линии реза по завершении операции для максимальной точности.
Простота эксплуатации
Установка оборудована сенсорным экраном с диагональю 17 дюймов, простым для восприятия графическим пользовательским интерфейсом для эффективной и интуитивно-понятной работы по заданию параметров, настройке и эксплуатации.
Характеристики
Установки серии 7900 предназначены для высокопроизводительной дисковой резки пластин размером до 250 х 250 мм из различных материалов и оснащены двумя прецизионными высокоскоростным шпинделями диаметром 2 дюйма
Полностью автоматизированный процесс
Два расположенных друг напротив друга шпинделя позволяют проводить сразу два идентичных реза за один проход
Система технического зрения с постоянным цифровым увеличением даёт большую скорость и точность позиционирования для максимального выхода годной продукции
Сенсорный экран монитора и интуитивно-понятный пользовательский интерфейс - всё для удобства эксплуатации
Простой доступ к внутренним частям оборудования для проведения технического обслуживания
Надёжное гранитное основание не подвержено вибрациям
Небольшие габариты для оборудования подобного типа
Оставьте заявку
И получите коммерческое предложение и дополнительную информацию
Привод осей Y1/Y2;Подающий винт с шарикоподшипником с шаговым двигателем
Управление;Линейный датчик положения
Разрешение; 0,1 мкм
Суммарная точность;1,5 мкм
Точность позиционирования;1,0 мкм
Максимальная величина хода;200 мм (250 мм для модели 7900 LA)
Привод по оси Θ;Прямоточный бесщёточный электромотор с обратной связью
Управление;линейный энкодер
Точность позиционирования;4 угл сек
Величина подачи;350 градусов
Видеокамера;Цифровая с светодиодной подсветкой высокой яркости (вертикальной и кольцевой)
Постоянное цифровое увеличение; от х70 до х280 или от х35 до х140 (опционально)
Стандартные опции;Автоматическое выравнивание, автоматическая проверка линии реза, автоматическое корректирование относительного расположения лезвия и камеры
Дополнительные опции; Система распознавания сломанного лезвия, шпиндель высокой мощности 2,4 кВт, устройство считывания штрихкодов, станция заточки, GMF, DFM
Пользовательский интерфейс;Плоский сенсорный экран с диагональю 17", поддержка нескольких языков, улучшенный дизайн рабочей программы
Электропитание;1 фаза, 220-240 В 50/60 Гц
Вода для охлаждения шпинделя;проточная 1,1 л/мин
Вода, подаваемая в зону резки;деионизованная до 3 л/мин
Сжатый воздух; 260 л/мин при давлении 4 - 6 бар
Температура окружающей среды;20 - 25 оС
Относительная влажность воздуха;<70 % (без конденсации)
Требования к размещению;виброзащитное основание
Габаритные размеры оборудования (ДхШхВ);875 х 975 х 1450 мм
Масса оборудования;900 кг