977 - Установка отмывки пластин

Производство компании Advanced Dicing Technologies (Израиль)
Компактное и многофункциональное решение для финишной отмывки и очистки полупроводниковых пластин и подложек по завершении операции дисковой резки
Области применения
Дисковая резка полупроводниковых пластин
Шлифовка и утонение пластин
Производство печатных плат
Преимущества
Эффективные методы очистки
Установка укомплектована вращающимся рабочим столом с вакуумным и механическим прижимом заготовки, а также перемещающимся манипулятором сверху, перемещающимся по радиусу рабочего стола. Он может быть оснащён соплом для распыления или форсункой для одновременной подачи воды и газа под высоким давлением для достижения наилучшей степени очистки.
Простота работы
Оборудованием легко и удобно пользоваться, интуитивно понятное управление через ЖК-экран позволяет оператору быстро настроить необходимые параметры процесса. Память устройства может одновременно хранить до восьми различных рабочих программ (рецептов). На экране отображается текущий статус, время до окончания процесса и появляются сообщения об ошибках.
Рабочий стол под разные задачи
Доступны две базовые модели, рассчитанные, исходя из максимального размера заготовки: до 200 мм или до 300 мм в диаметре. Сменный рабочий стол, базовую конфигурацию которого можно изменить и расширить под специальные требования клиента.
Характеристики
Установка модели 977 предназначена для отмывки, финишной очистки пластин от мелких частиц и сушки после операции дисковой резки
  • Компактная конструкция на четырёх колёсах для быстрого и удобного перемещения
  • Подача азота и сжатого воздуха для сушки разделена по разным соплам
  • Датчики контроля давления подаваемой воды и азота
  • Сигнальная свето-звуковая башня для предупреждения оператора о статусе работы
  • Встроенный вакуумный насос для прижима заготовки на рабочем столе
  • Строгое соответствие стандартам безопасности, замок-интерлок для блокировки крышки
  • Автоматическое открывание/закрывание верхней крышки
Спецификация
Оставьте заявку
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.