Меню

ALD - Установка атомно-слоевого осаждения

Система для формирования тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения
Области применения
МОП-транзисторы с high-k затвором
Нанопористые структуры
Поверхностная декапировка поликремния для солнечных элементов
Пассивационные слои для органических светодиодов
Характеристики
Опции
  • Высоковакуумная откачная система
  • Буферная камера для загрузки-выгрузки подложек
  • Охлаждение подложек
  • Загрузочный шлюз
  • Доступные опции нагрева подложек - 800 ˚C
  • Соединение с перчаточной камерой
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.