АСТ даёт гораздо больший контроль над процессом, чем традиционные методы травления
Метод получил наиболее широкое практическое применение в производстве полупроводниковых структур на основе кремния и его соединений. В отличие от классических методов химического и плазмохимического травления, ALE имеет ряд особых преимуществ: скорость, равномерность, а также возможность селективного травления отдельных материалов многослойной гетероструктуры на кремниевой подложке