En Ru
DTX - Установка прецизионного алмазного скрайбирования и разделения полупроводниковых пластин
Производство компании Dynatex International (США)
Универсальное решение для алмазного скрайбирования и разделения полупроводниковых пластин и подложек как для лабораторий и институтов, так и для серийных производств.
Области применения
-
СВЧ-микросхемы и транзисторы - Оптоэлектронные устройства (фотодиоды, модуляторы и т.д.)
- Кремниевая фотоника
- Изделия на базе A3B5-материалов (GaAs, GaN, InP и т.д.)
- Датчики и МЭМС
- Биомедицинские устройства с чувствительными структурами или хрупким покрытием
- Линейки и кристаллы лазерных диодов и матриц
- Светодиоды и светодиодные матрицы (разделение пластин)
Преимущества
- Полностью "сухой" процессПроцесс скрайбирования и разделения пластин без использования деионизованной воды, присадок и других химикатов. В процессе разделения изделия не подвергаются гальванической коррозии, поверхность не засоряется и не повреждается большим количеством частиц материала в отличие от процесса дисковой резки.
- Минимальная ширина резаШирина реза в несколько микрон экономит пространство пластины и снижает себестоимость изделий. Вы можете разместить больше кристаллов на пластине, а также использовать Т-образные линии разделения для кристаллов разного размера.
- Высочайшее качество при работе с А3Б5 материаламиАлмазное скрайбирование позволяет добиться высочайшего качества по сравнению с другими способами разделения пластин на кристаллы даже для таких материалов, как GaS, GaN, SiC и др, что особенно важно для производства лазерных и СВЧ-приборов.
Характеристики
Установка модели DTX предназначена для выполнения операций высокоточного алмазного скрайбирования и разделения пластин диаметром до 200 мм из различных полупроводниковых материалов, таких как кремний, фосфид индия, арсенид и нитрид галлия и др.
- Высокоточная система для задач опытного и серийного производства, а также для проведения научных исследований
- Интегрированная современная система технического зрения
- Удобный пользовательский интерфейс с сенсорным экраном на базе ОС Windows
- Система автоматической калибровки со встроенным интерактивным помощником
- Интегрированные модули скрайбирования и разделения
- Различные варианты конструкций модуля разделения
- Возможность работы как с пластинами диаметром до 200 мм, так и с их частями
- Различные режимы работы оборудования: от полностью автоматического до ручного
Получите коммерческое предложение
и дополнительную информацию по Вашему запросу
Спецификация
Энергоносители
Позвоните нам по телефону +7 (495) 150 95 46
или отправьте заявку в этой форме
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.