• /

DTX - Установка прецизионного алмазного скрайбирования и разделения полупроводниковых пластин

Производство компании Dynatex International (США)
Универсальное решение для алмазного скрайбирования и разделения полупроводниковых пластин и подложек как для лабораторий и институтов, так и для серийных производств.
Области применения
СВЧ-микросхемы и транзисторы
Оптоэлектронные устройства (фотодиоды, модуляторы и т.д.)
Кремниевая фотоника и изделия на базе A3B5-материалов
МЭМС и биомедицинские устройства с чувствительными структурами или хрупким покрытием
Линейки и кристаллы лазерных диодов и матриц
Светодиоды и светодиодные матрицы (разделение пластин)
Преимущества
Полностью "сухой" процесс
Процесс скрайбирования и разделения пластин без использования деионизованной воды, присадок и других химикатов. В процессе разделения изделия не подвергаются гальванической коррозии, поверхность не засоряется и не повреждается большим количеством частиц материала в отличие от процесса дисковой резки.
Минимальная ширина реза
Ширина реза в несколько микрон экономит пространство пластины и снижает себестоимость изделий. Вы можете разместить больше кристаллов на пластине, а также использовать Т-образные линии разделения для кристаллов разного размера.
Высочайшее качество при работе с А3Б5 материалами
Алмазное скрайбирование позволяет добиться высочайшего качества по сравнению с другими способами разделения пластин на кристаллы даже для таких материалов, как GaS, GaN, SiC и др, что особенно важно для производства лазерных и СВЧ-приборов.
Характеристики
Установка модели DTX предназначена для выполнения операций высокоточного алмазного скрайбирования и разделения пластин диаметром до 200 мм из различных полупроводниковых материалов, таких как кремний, фосфид индия, арсенид и нитрид галлия и др.
  • Высокоточная система для задач опытного и серийного производства, а также для проведения научных исследований
  • Интегрированная современная система технического зрения
  • Удобный пользовательский интерфейс с сенсорным экраном на базе ОС Windows
  • Система автоматической калибровки со встроенным интерактивным помощником
  • Интегрированные модули скрайбирования и разделения
  • Различные варианты конструкций модуля разделения
  • Возможность работы как с пластинами диаметром до 200 мм, так и с их частями
  • Различные режимы работы оборудования: от полностью автоматического до ручного
Получите коммерческое предложение
и дополнительную информацию по Вашему запросу
Спецификация
Энергоносители
Оставьте заявку
И получите дополнительную информацию и коммерческое предложение по Вашему запросу
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.