Компактная система для монтажа полупроводниковых пластин размером до 5" внутри нагреваемой вакуумной камеры для научно-исследовательских задач и мелкосерийного производства
Мы обратились в Dynatex International с нестандартным запросом по монтажу тонкой хрупкой пластины на более жёсткую и массивную. Dynatex стал единственной компанией, кто не только предложил подходящее решение - в кратчайшие сроки и с наибольшей эффективностью, но также и оборудование по приемлемой цене. Вдобавок специалисты Dynatex разработали техпроцесс под наше изделие и обеспечили полноценную и безотказную поддержку по его отладке и нашим дальнейшим разработкам. Они превзошли все мои ожидания с точки зрения разработки быстро оборачиваемого техпроцесса, сроков поставки оборудования и экономии денежных средств.
—Kierthi Swaminathan, Инженер-технолог, компания Power Integrations.
Преимущества
Ручная настройка давления
Двухкамерное исполнение позволяет вручную устанавливать требуемое значение давления рабочего процесса.
Контроль времени
Встроенный таймер позволяет предварительно настроить и затем постоянно контролировать продолжительность проведения цикла.
Вариативность работы
Нагреваемая вакуумная камера и рабочий стол диаметром 135 мм позволяет проводить операцию монтажа пластин широкой номенклатуры и размерного ряда.
Характеристики
Установка монтажа пластин DXB 525 предназначена для проведения промежуточных подготовительных операций с полупроводниковыми пластинами: притирка, утонение, полировка.
Простое и интуитивно понятное аналоговое управление на лицевой панели
Цифровой датчик текущих показаний температуры нагрева рабочего стола, датчик усилия прижима и вакууметр для удобства мониторинга за процессом также установлены спереди
При помощи кнопок на лицевой панели можно быстро настраивать значения температуры нагрева рабочего стола и времени цикла
Световые индикаторы начала цикла и включения нагревательного элемента расположены спереди
Небольшие габариты установки позволяют быстро и удобно проводить операцию монтажа пластин в рамках научных исследований или мелкосерийного производства
Нагреваемый рабочий стол диаметром 135 мм
Спецификация
Размер камеры;132 мм
Электропитание;1 фаза, 220 В 2,5 А 50/60 Гц
Температура нагрева;40 - 160 оС
Время рабочего цикла;1 - 600 с
Вакуум;60 - 85 кПа
Температура окружающей среды;15 - 27 оС
Относительная влажность;0 - 95 % (без конденсата)
Габаритные размеры оборудования (ДхШхВ);290 х 225 х 180 мм