Максимальный диаметр пластин; до 300 мм
Равномерность покрытия по толщине; ± 3%
Рабочее давление; в диапазоне 10ˉ⁷ Торр
Количество газовых линий;одновременно до 10 газовых линий
Нагрев подложек;до 400˚C
Подача рабочего газа;высокоточная система равномерной подачи рабочего газа
Система управления;полностью автоматическая с сенсорным экраном
Высоковакуумная откачная система
Загрузочный шлюз (для одной подложки, а также из кассеты в кассету)
Манипулятор для автоматического перемещения пластин между камерами