Гибкое решение для плазменного осаждения тонких плёнок из газовой фазы
Получить предложение
Области применения оборудования
Плазменная очистка
Послойное наращивание CNT и графена
Тонкие плёнки из оксидов, нитридов, a-Si
Структуры на базе алмазных пленок
Характеристики
Максимальный диаметр пластин; до 300 мм
Равномерность покрытия по толщине; ± 3%
Рабочее давление; в диапазоне 10ˉ⁷ Торр
Количество газовых линий;одновременно до 10 газовых линий
Нагрев подложек;до 400˚C
Подача рабочего газа;высокоточная система равномерной подачи рабочего газа
Система управления;полностью автоматическая с сенсорным экраном
Опции
Высоковакуумная откачная система
Загрузочный шлюз (для одной подложки, а также из кассеты в кассету)
Манипулятор для автоматического перемещения пластин между камерами
Позвоните нам по телефону +7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*). Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.