Оборудование
/
PVD - Установка магнетронного напыления

Автоматическая установка взрывной литографии (Lift-Off)

Полностью автоматические системы обратной (взрывной) литографии используются в процессах производства полупроводников, связанных с фотолитографическими материалами.

предназначена для обработки пластин диаметром 76 и 100мм
материал пластин: GaAs, Si, SiC
габаритные размеры ШхГхВ: 1900 х 1800 х 2100 мм
вес: примерно 1500г
кассетная станция загрузки/выгрузки - 2 шт
перегрузочный робот с 4мя манипуляторами
модуль центрирования
модуль ультразвукового замачивания
модуль снятия резиста
модуль отмывки
система подачи химикатов (периферийный модуль)
система управления на базе промышленного ПК
система желтого освещения
ФВМ класс 100 - 3 компл
система подавления пожара (углекислый газ)

Получить предложение

Области применения

Полупроводниковые приборы
Нанотехнологии
Исследования нанесения тонкоплёночных покрытий
Напыление металлов, оксидов и нитридов
Солнечные батареи и оптические устройства

Характеристики

Возможность оснащения на выбор: турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Возможность оснащения блоками высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума
Настройка оборудования под требования клиента

Опции

Система автоматической загрузки/выгрузки

Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
Различные источники питания для магнетронов

ВЧ-источники и источники на постоянном токе, в т.ч. импульсные, биполярные и ассиметрично-биполярные
Датчики толщин наносимых пленок

Различные типы датчиков для определения толщин и характеристик наносимых пленок, включая кварцевые и оптические
Ионная очистка пластин и подложек

Ионный источник для очистки подложек, ионно-ассистированного напыления и низкоэнергетического травления
Системы нагрева и вращения подложек

Интегрированные в подложкодержатель системы нагрева (кондуктивного и конвекционного типа) и вращения подложек
Полнодиапазонные системы измерения вакуума

А также системы контроля уровня остаточного давления, системы поддержания соотношения газовой смеси в камере и т.д.

Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546

или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.