Меню
En
Ru

PVD - Установка магнетронного напыления

Производство компании Syskey Technology Co., Ltd. (Тайвань)
Универсальная установка магнетронного напыления тонких плёнок металлов, оксидов и нитридов

  • диаметр загружаемых пластин: до 12" (300 мм)
  • остаточный вакуум: < 10E-7 Торр
  • неравномерность толщины напыляемых пленок: 5% и лучше (на пластине 200 мм)
Получить предложение
Области применения
Полупроводниковые приборы
Нанотехнологии
Исследования нанесения тонкоплёночных покрытий
Напыление металлов, оксидов и нитридов
Солнечные батареи и оптические устройства
Характеристики
  1. Возможность оснащения на выбор: турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
  2. Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
  3. Автоматическая система управления, сенсорный экран
  4. Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
  5. Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
  6. Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
  7. Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
  8. Возможность оснащения блоками высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума
  9. Настройка оборудования под требования клиента
    Опции
    • 1
      Система автоматической загрузки/выгрузки
      Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
    • 2
      Различные источники питания для магнетронов
      ВЧ-источники и источники на постоянном токе, в т.ч. импульсные, биполярные и ассиметрично-биполярные
    • 3
      Датчики толщин наносимых пленок
      Различные типы датчиков для определения толщин и характеристик наносимых пленок, включая кварцевые и оптические
    • 4
      Ионная очистка пластин и подложек
      Ионный источник для очистки подложек, ионно-ассистированного напыления и низкоэнергетического травления
    • 5
      Системы нагрева и вращения подложек
      Интегрированные в подложкодержатель системы нагрева (кондуктивного и конвекционного типа) и вращения подложек
    • 6
      Полнодиапазонные системы измерения вакуума
      А также системы контроля уровня остаточного давления, системы поддержания соотношения газовой смеси в камере и т.д.
    Позвоните нам по телефону
    +7 495 150 9546
    или заполните форму для получения дополнительной информации
    и коммерческого предложения
    Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
    Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.