SRD - Установка отмывки и сушки пластин

Максимальный диаметр пластин;до 150 мм Возможность кассетной обработки;25 пластин в кассете Скорость вращения;до 2500 об/мин Допустимое отклонение скорости;± 1% Нагрев рабочей камеры;до 100˚C Фильтр частиц на подаче азота;0,003 мкм Подача азота;высокоточная система с контролем давления Система управления;полностью автоматическая с цветным сенсорным экраном Электропитание;380 В, 50 Гц, 3 кВт Масса;350 кг Габаритные размеры;860 х 610 х 1600 мм Материал камеры;нержавеющая сталь марки SUS316L

Возможность компоновки с одной или двумя камерами (центрифугами) Специальные магнитожидкостные уплотнения центрифуги Различная конфигурация системы подачи рабочего газа