TES - Установка термического испарения

Габариты пластин и подложек;диаметр до 300 мм, прямоугольной формы - 470 х 370 мм² Равномерность по толщине;< 3% Остаточное давление;<10E-10 Торр Максимальная температура нагрева подложек;1300˚C

Система на выбор с турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей Автоматическая система управления, сенсорный экран Документирование параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления и т,д,) Управление техпроцессом в реальном времени для исключительного качества и повторяемости толщин плёнок Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль Набор тиглей с возможностью последовательного нанесения Кварцевый датчик для контроля толщины напыления с обратной связью Блок питания на постоянном токе с цифровым амперметром для последовательного нанесения плёнок Возможность оснащения системой высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума Специальная конфигурация и состав под требования клиента

Буферная камера и система автоматической загрузки-выгрузки подложек Источник питания: ВЧ или на постоянном токе Датчик контроля толщины нанесения Нагрев и охлаждение подложек Ионный источник Анализатор остаточных газов Интеграция с перчаточным боксом (включая шлюз и автоблокировку)