UHV - Установка напыления тонких плёнок в сверхвысоком вакууме
UHV - Установка напыления тонких плёнок в сверхвысоком вакууме
Универсальная установка напыления тонких плёнок в сверхвысоком вакууме (Ultra High Vacuum) с использованием различных источников
Получить предложение
Области применения
Различные источники
Плёнки на полупроводниковых материалах
Ультра-тонкие плёнки
Наноструктурированные плёнки
Характеристики
Размер обрабатываемых пластин и подложек;до 200 мм
Равномерность по толщине;< 3%
Остаточное давление;<10 ̄¹º Торр
Максимальная температура нагрева подложек;1000˚C
Встроенная система безопасности, автоматические блокировки дверей, клапанов и вентилей
Автоматическая система управления с сенсорным экраном
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления и т.д.)
Управление техпроцессом в реальном времени для исключительного качества и повторяемости толщин плёнок
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Откачная система с TSP-насосом или ионным насосом
Специальная конфигурация и состав под требования клиента
Позвоните нам по телефону +7 495 150 9546
Или заполните форму для получения дополнительной информации и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*). Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.