Максимальный размер пластин: до 550 x 650 мм2 (стекло)
Неравномерность по толщине осаждаемых пленок: ±3% и лучше
Получить предложение
Области применения
Аморфный кремний (a-Si).
Нитрид кремния (SiNx).
Оксид кремния, на основе силана (SiOx).
Оксид кремния, на основе TEOS (SiOx)
Характеристики
Общие характеристики
Размер обрабатываемых подложек;до 550 x 650 мм2 (стекло)
Превосходная однородность наносимых пленок ;менее ±3%
Количество газовых линий в рабочей камере с равномерным распределением газа;до 7
Нагрев держателя подложек со стабильным температурным контролем;до 380 °C
Средний ресурс работы клапанов;> 1 млн циклов открытия/закрытия
Преимущества
Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Возможность оснащения блоками высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума
Настройка оборудования под требования клиента
Опции
1
Система автоматической загрузки/выгрузки
Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
2
Возможность усовершенствования до кластерной системы
Оснащается транспортировочной камерой с роботом и датчиками положения пластины. Можно будет добавлять процессные камеры
3
Перчаточный бокс
Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере
4
Ионная очистка пластин и подложек
Ионный источник для очистки подложек, ионно-ассистированного напыления и низкоэнергетического травления
Позвоните нам по телефону +7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*). Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.