Оборудование
/
In-Line Sputter- Конвейерная PVD Установка

FPD-PVD - Кластерная установка для напыления ЖК-Экранов

Производство компании Syskey Technology Co., Ltd. (Тайвань)

Установка имеет 4 независимые камеры напыления, что позволяет заказчикам произвольно подбирать напыляемые материалы, при этом получая недорогую и быструю установку.

Максимальный диаметр пластин: до 550 х 650 мм2 (стекло)
Неравномерность по толщины напыляемых пленок: ±5% и лучше

Получить предложение

Области применения

Полупроводниковые приборы
Солнечный панели
Исследования оксидов, нитридов и металлов
TFT-LCD
ЖК-Дисплеи
Сенсорные экраны

Характеристики

Преимущества

Полно диапазонный датчик вакуума с цифровым дисплеем и Баратрон для управления давлением в системе по замкнутому контуру
РРГ с высокой равномерностью распределения газа.
Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Настройка оборудования под требования клиента

Опции

Система автоматической загрузки/выгрузки и возврата носителя подложек

Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
Датчики толщин наносимых пленок

Различные типы датчиков для определения толщин и характеристик наносимых пленок, включая кварцевые и оптические
Полнодиапазонные системы измерения вакуума

А также системы контроля уровня остаточного давления, системы поддержания соотношения газовой смеси в камере и т.д.
Ионная очистка пластин и подложек

Ионный источник для очистки подложек, ионно-ассистированного напыления и низкоэнергетического травления

Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546

или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.