Меню
En
Ru

FPD-PVD - Кластерная установка для напыления ЖК-Экранов

Производство компании Syskey Technology Co., Ltd. (Тайвань)
Установка имеет 4 независимые камеры напыления, что позволяет заказчикам произвольно подбирать напыляемые материалы, при этом получая недорогую и быструю установку.
  • Максимальный диаметр пластин: до 550 х 650 мм2 (стекло)
  • Неравномерность по толщины напыляемых пленок: ±5% и лучше
Получить предложение
Области применения
Полупроводниковые приборы
Солнечный панели
Исследования оксидов, нитридов и металлов
TFT-LCD
ЖК-Дисплеи
Сенсорные экраны
Характеристики
Преимущества
  1. Полно диапазонный датчик вакуума с цифровым дисплеем и Баратрон для управления давлением в системе по замкнутому контуру
  2. РРГ с высокой равномерностью распределения газа.
  3. Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
  4. Автоматическая система управления, сенсорный экран
  5. Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
  6. Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
  7. Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
  8. Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
  9. Настройка оборудования под требования клиента
Опции
  • 1
    Система автоматической загрузки/выгрузки и возврата носителя подложек
    Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
  • 2
    Датчики толщин наносимых пленок
    Различные типы датчиков для определения толщин и характеристик наносимых пленок, включая кварцевые и оптические
  • 3
    Полнодиапазонные системы измерения вакуума
    А также системы контроля уровня остаточного давления, системы поддержания соотношения газовой смеси в камере и т.д.
  • 4
    Ионная очистка пластин и подложек
    Ионный источник для очистки подложек, ионно-ассистированного напыления и низкоэнергетического травления
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.