Меню
En
Ru

In-Line Sputter- Конвейерная PVD Установка

Производство компании Syskey Technology Co., Ltd. (Тайвань)
В данной установке подложки проходят под одним или несколькими напыляющими катодами для получения тонкопленочного покрытия.
  • Максимальный размер пластин: до 1100 х 1300 мм2
  • Уровень остаточного давления: < 1E–7 Торр
  • Неравномерность по толщины напыляемых пленок: 3% и лучше
Получить предложение
Области применения
Полупроводниковые приборы
Нанотехнологии
ЖК-Дисплеи
Солнечные батареи и оптические устройства
Сенсорная панель
Характеристики
Преимущества
  1. Гибкий подбор размеров вакуумной камеры зависящий от размера подложки и области применения
  2. Полно диапазонный датчик вакуума с цифровым дисплеем и Баратрон для управления давлением в системе по замкнутому контуру
  3. Несколько испарителей с последовательной работой или совместным напылением
  4. РРГ с высокой равномерностью распределения газа.
  5. Напыление многослойных плёнок выбранными материалами мишеней
  6. Регулируемая высота магнетронов, (расстояние между мишенью и подложкой)
  7. Заслонки для каждой мишени или подложки
  8. Вертикальное или горизонтальное напыление
  9. Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
  10. Автоматическая система управления, сенсорный экран
  11. Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
  12. Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
  13. Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
  14. Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
  15. Настройка оборудования под требования клиента
Опции
  • 1
    Система автоматической загрузки/выгрузки и возврата носителя подложек
    Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
  • 2
    Перчаточный бокс
    Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
  • 3
    Датчики толщин наносимых пленок
    Различные типы датчиков для определения толщин и характеристик наносимых пленок, включая кварцевые и оптические
  • 4
    Полнодиапазонные системы измерения вакуума
    А также системы контроля уровня остаточного давления, системы поддержания соотношения газовой смеси в камере и т.д.
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.