Оборудование
/
In-Line Sputter- Конвейерная PVD Установка

In-Line Sputter- Конвейерная PVD Установка

В данной установке подложки проходят под одним или несколькими напыляющими катодами для получения тонкопленочного покрытия.

Максимальный размер пластин: до 1100 х 1300 мм2
Уровень остаточного давления: < 1E–7 Торр
Неравномерность по толщины напыляемых пленок: 3% и лучше

Получить предложение

Области применения

Полупроводниковые приборы
Нанотехнологии
ЖК-Дисплеи
Солнечные батареи и оптические устройства
Сенсорная панель

Характеристики

Преимущества

Гибкий подбор размеров вакуумной камеры зависящий от размера подложки и области применения
Полно диапазонный датчик вакуума с цифровым дисплеем и Баратрон для управления давлением в системе по замкнутому контуру
Несколько испарителей с последовательной работой или совместным напылением
РРГ с высокой равномерностью распределения газа.
Напыление многослойных плёнок выбранными материалами мишеней
Регулируемая высота магнетронов, (расстояние между мишенью и подложкой)
Заслонки для каждой мишени или подложки
Вертикальное или горизонтальное напыление
Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Настройка оборудования под требования клиента

Опции

Система автоматической загрузки/выгрузки и возврата носителя подложек

Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
Перчаточный бокс

Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
Датчики толщин наносимых пленок

Различные типы датчиков для определения толщин и характеристик наносимых пленок, включая кварцевые и оптические
Полнодиапазонные системы измерения вакуума

А также системы контроля уровня остаточного давления, системы поддержания соотношения газовой смеси в камере и т.д.

Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546

или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.