Оборудование
/
Lift-Off E-Beam - Установка электронно-лучевого испарения для Lift-off процессов

Lift-Off E-Beam - Установка электронно-лучевого испарения для Lift-off процессов

Максимальный диаметр пластин: до 12" (300 мм)
Уровень остаточного давления: < 1E–8 Торр
Неравномерность по толщины напыляемых пленок: 3% и лучше (на пластине 200 мм)

Области применения

LIFT-OFF процесс.

1. Подготовка подложки
2. Нанесение жертвенного слоя для шаблона.
3. Формирование рисунка шаблона (ex. травление), создание обратной структуры.
4. Напыление целевого материала.
5. Удаления жертвенного слоя вместе с целевым материалом на его поверхности.
6. Слои:
①Подложка
②Жертвенный слой
③Целевой материал

Характеристики

Преимущества

Гибкий подбор габаритных размеров вакуумной камеры зависящий от размера подложки и области применения
Автоматическое управление скоростью осаждения
Возможность одновременной установки нескольких источников с последовательным включением или совместным напылением
Возможность оснащения на выбор: турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Возможность оснащения блоками высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума
Настройка оборудования под требования клиента

Опции

Система автоматической загрузки/выгрузки

Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
Перчаточный бокс

Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.

Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546

или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.