Меню
  • /

Metarial Thermal Evaporation - Установка для термовакуумного испарение органических материалов

Производство компании Syskey Technology Co., Ltd. (Тайвань)
  • Максимальный размер пластин: 470 х 370 мм2 (стекло)
  • Уровень остаточного давления: < 1E–8 Торр
  • Неравномерность по толщины напыляемых пленок: ±3% и лучше (на пластине 200 мм)
Области применения
Исследования технологических материалов
Органические солнечные панели
Органические светодиоды (OLED)
Характеристики
Преимущества
  1. Эффузионная ячейка (доступны тигли из металла, керамики, графита, PBN-органики)
  2. Возможность одновременной установки нескольких источников с последовательным включением или совместным напылением
  3. Заслонки устанавливаются на каждый источник и на подложку
  4. Полностью открываемая дверь (высоковакуумная камера), два встроенных смотровых окна с заслонками для наблюдения за подложкой и тиглем
  5. Возможность оснащения на выбор: турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
  6. Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
  7. Автоматическая система управления, сенсорный экран
  8. Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
  9. Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
  10. Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
  11. Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
  12. Возможность оснащения блоками высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума
  13. Настройка оборудования под требования клиента
Опции
  • 1
    Система автоматической загрузки/выгрузки
    Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
  • 2
    Перчаточный бокс
    Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
  • 3
    Датчики толщин наносимых пленок
    Различные типы датчиков для определения толщин и характеристик наносимых пленок, включая кварцевые и оптические
  • 4
    Анализатор остаточных газов
    Анализатор остаточных газов (RGA) - это небольшой и обычно прочный масс-спектрометр, обычно предназначенный для контроля технологических процессов и контроля загрязнения в вакуумных системах
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.