Оборудование
/
Metarial Thermal Evaporation - Установка для термовакуумного испарение органических материалов

Metarial Thermal Evaporation - Установка для термовакуумного испарение органических материалов

Максимальный размер пластин: 470 х 370 мм2 (стекло)
Уровень остаточного давления: < 1E–8 Торр
Неравномерность по толщины напыляемых пленок: ±3% и лучше (на пластине 200 мм)

Получить предложение

Области применения

Исследования технологических материалов

Органические солнечные панели

Органические светодиоды (OLED)

Характеристики

Преимущества

Эффузионная ячейка (доступны тигли из металла, керамики, графита, PBN-органики)
Возможность одновременной установки нескольких источников с последовательным включением или совместным напылением
Заслонки устанавливаются на каждый источник и на подложку
Полностью открываемая дверь (высоковакуумная камера), два встроенных смотровых окна с заслонками для наблюдения за подложкой и тиглем
Возможность оснащения на выбор: турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Возможность оснащения блоками высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума
Настройка оборудования под требования клиента

Опции

Система автоматической загрузки/выгрузки

Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
Перчаточный бокс

Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
Датчики толщин наносимых пленок

Различные типы датчиков для определения толщин и характеристик наносимых пленок, включая кварцевые и оптические
Анализатор остаточных газов

Анализатор остаточных газов (RGA) - это небольшой и обычно прочный масс-спектрометр, обычно предназначенный для контроля технологических процессов и контроля загрязнения в вакуумных системах

Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546

или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.