Меню

Установка нанесения/проявления (стандартная)

Может быть оснащена 4 технологическими камерами и 18 модулями (HP/CP/HMDS), подходит для серийного производства. Благодаря роботизированной передаче пластин производительность может достигать 190 пл./ч. Обладает неизменной стабильностью при компактных размерах, проста в эксплуатации и обслуживании.
Области применения
  • Литография (lift-off)
  • Оптоэлектронные материалы (светодиоды/лазерные диоды)
  • Телекоммуникационные приборы (ВЧ и СВЧ, приборы на базе III-V материалов)
  • Полупроводниковые приборы
Характеристики
Опции
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.