Может быть оснащена 4 технологическими камерами и 18 модулями (HP/CP/HMDS), подходит для серийного производства. Благодаря роботизированной передаче пластин производительность может достигать 190 пл./ч. Обладает неизменной стабильностью при компактных размерах, проста в эксплуатации и обслуживании.
На выбор доступны конфигурации с турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
Количество тиглей (1, 2, 4, 6 или др.) - указывается перед размещением заказа
Загрузочный шлюз
Охлаждение подложек
Наклон подложек
Доступные опции нагрева подложек: 300 ˚C, 500 ˚C, 800 ˚C
Интеграция с перчаточным боксом (включая шлюз и автоблокировку)