Модель установки жидкостной химической обработки для травления
Модель установки жидкостной химической обработки для травления
Может быть оснащена 6 технологическими камерами и работать с различными жидкостями для травления. Фиксация пластин с захватом Бернулли для чистоты обратной стороны, трехступенчатый нагрев жидкости минимизирует отклонение температуры. Опциональный автоматический контроль кислотности используемых растворов. Подходит в том числе для травления и очистки слоев SiО2, SiN, поликремния и различных металлических соединений.
На выбор доступны конфигурации с турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
Количество тиглей (1, 2, 4, 6 или др.) - указывается перед размещением заказа
Загрузочный шлюз
Охлаждение подложек
Наклон подложек
Доступные опции нагрева подложек: 300 ˚C, 500 ˚C, 800 ˚C
Интеграция с перчаточным боксом (включая шлюз и автоблокировку)