Меню
  • /

Модель установки жидкостной химической обработки для травления

Может быть оснащена 6 технологическими камерами и работать с различными жидкостями для травления. Фиксация пластин с захватом Бернулли для чистоты обратной стороны, трехступенчатый нагрев жидкости минимизирует отклонение температуры. Опциональный автоматический контроль кислотности используемых растворов. Подходит в том числе для травления и очистки слоев SiО2, SiN, поликремния и различных металлических соединений.
Области применения
  • Литография (lift-off)
  • Оптоэлектронные материалы (светодиоды/лазерные диоды)
  • Телекоммуникационные приборы (ВЧ и СВЧ, приборы на базе III-V материалов)
  • Полупроводниковые приборы
Характеристики
Опции
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.