En Ru
Автоматическая установка взрывной литографии (Lift-Off)
Полностью автоматизированная система с роботизируемым перемещением подложек
Технические характеристики:
- предназначена для обработки пластин диаметром 76 и 100мм
- материал пластин: GaAs, Si, SiC
- процесс: перегрузка пластин из транспортировочной кассеты во внутреннюю кассету - обработка в модуле замачивания - снятие резиста в модуле обработки под высоким давлением, обычным давлением, отмывка обратной стороны - отмывка в модуле очистки (изопропиловый спирт - двухэтапная отмывка д.и. водой - сушка азотом) - выгрузка в транспортировочную кассету)
- габаритные размеры ШхГхВ: 1900 х 1800 х 2100 мм
- вес: примерно 1500г
- кассетная станция загрузки/выгрузки - 2 шт
- перегрузочный робот с 4мя манипуляторами
- модуль центрирования
- модуль ультразвукового замачивания
- модуль снятия резиста
- модуль отмывки
- система подачи химикатов (периферийный модуль)
- система управления на базе промышленного ПК
- система желтого освещения
- ФВМ класс 100 - 3 компл
- система подавления пожара (углекислый газ)
Получите коммерческое предложение
Помогите клиенту принять решение. Напишите вдохновляющую фразу и добавьте кнопку целевого действия
Наши контакты
Укажите адрес вашей компании