Автоматическая установка взрывной литографии (Lift-Off)

предназначена для обработки пластин диаметром;76 и 100мм;материал пластин:;GaAs, Si, SiC. габаритные размеры ШхГхВ:;1900 х 1800 х 2100 мм;вес:; примерно 1500г. кассетная станция загрузки/выгрузки;2 шт;перегрузочный робот с 4мя манипуляторами; ФВМ класс 100 3 компл. модуль центрирования;модуль ультразвукового замачивания;модуль снятия резиста;модуль отмывки. система подачи химикатов (периферийный модуль);система управления на базе промышленного ПК;система желтого освещения;система подавления пожара (углекислый газ). процесс:;перегрузка пластин из транспортировочной кассеты во внутреннюю кассету -;обработка в модуле замачивания - снятие резиста в модуле обработки под высоким давлением, обычным давлением, отмывка обратной стороны -; отмывка в модуле очистки (изопропиловый спирт - двухэтапная отмывка д.и. водой - сушка азотом); - выгрузка в транспортировочную кассету). Срок поставки;9 месяцев;Гарантия;Стандартный срок гарантии составляет 1 год (12 месяцев) с момента завершения процедуры запуска оборудования, либо по прошествии 1 месяца со дня отгрузки оборудования на склад Клиента.