Меню
En
Ru
  • Оборудование
    /
  • Plasma ALD- Установка плазменного атомно-слоевого осаждения

Plasma ALD- Установка плазменного атомно-слоевого осаждения

Производство компании Syskey Technology Co., Ltd. (Тайвань)
  • Максимальный диаметр пластин: до 12" (300 мм)
  • Неравномерность по толщины напыляемых пленок: менее ±1% (на пластине 200 мм)
Получить предложение
Области применения
High-k оксиды для затвора МОП-транзистора
Пассивация на кристаллическом кремнии солнечных панелей и OLED
МЭМС
Наноэлектроника
Напыление нанопористых структур
Оптические активные плёнки
Корпусирование
Характеристики
Преимущества
  1. Высокая конформность с обработкой при высоком аспектном соотношении и сложных структурах
  2. Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
  3. Автоматическая система управления, сенсорный экран
  4. Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
  5. Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
  6. Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
  7. Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
  8. Настройка оборудования под требования клиента
Опции
  • 1
    Система автоматической загрузки/выгрузки
    Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
  • 2
    Возможность усовершенствования до кластерной системы
    Оснащается транспортировочной камерой с роботом и датчиками положения пластины. Можно будет добавлять процессные камеры. 
  • 3
    Перчаточный бокс
    Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
  • 4
    Порты для спектроскопического эллипсометра
    Позволяет исследовать свойства тонких пленок: определять толщину и оптические константы, исследовать анизотропию, градиент, морфологию, кристалличность, химический состав и электропроводность однослойных и многослойных структур
Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.