Неравномерность травления: менее ±3% (на пластине 200 мм)
Получить предложение
Области применения
Фундаментальные исследования плазмы
МЭМС
Травление металла, кремния, фоторезиста
Травление полупроводников
Характеристики
Общие характеристики
Размер обрабатываемых подложек;до 300 мм (возможна загрузка кусков пластин)
Превосходное равномерное травления по всей площади;менее ±3%
ICP-плазма с ICP-катушкой Tornado, увеличивающей осаждение при низкой температуре;мощностью до 2 кВт
Нагрев держателя со стабильным температурным контролем;до 300°C
Средний ресурс работы клапанов;> 1 млн циклов открытия/закрытия
Вакуумная камера
Остаточное давление в камере до 1Е-7 Торр
Камера из алюминия или нержавеющей стали малых габаритов для быстрого цикла
Управление температурой камеры за счёт использования чиллера/нагревателя
Преимущества
РРГ с высокой равномерностью подачи и распределения газа.
Низкое повреждение, высокая скорость процесса, высокое аспектное соотношение.
Душевая головка с радиочастотным питанием и оптимизированным распределением газа.
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Настройка оборудования под требования клиента
Опции
Система автоматической загрузки/выгрузки
Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
Возможность усовершенствования до кластерной системы
Оснащается транспортировочной камерой с роботом и датчиками положения пластины. Можно будет добавлять процессные камеры.
Перчаточный бокс
Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
Позвоните нам по телефону +7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*). Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.