Неравномерность травления: менее ±3% (на пластине 200 мм)
Получить предложение
Области применения
Травление Si, SiO2, SiNx.
МЭМС
Травление металла, кремния, фоторезиста
Фундаментальные исследования плазмы
Травление полупроводников III-V группы (GaAsn, InP, GaN)
Характеристики
Общие характеристики
Размер обрабатываемых подложек;до 300 мм (возможна загрузка кусков пластин)
Превосходное равномерное травления по всей площади;менее ±3%
Нагрев держателя со стабильным температурным контролем;до 400°C
Охлаждение держателя со стабильным температурным контролем;-20°С
РРГ с равномерным распределением газа;до 6 газовых линий.
Средний ресурс работы клапанов;> 1 млн циклов открытия/закрытия
Вакуумная камера
Уровень остаточного давления: < 1E–7 Торр
Камера из алюминия с твёрдым анодированным покрытием
Управление температурой камеры за счёт использования чиллера/нагревателя
Преимущества
РРГ с высокой равномерностью подачи и распределения газа
Низкое повреждение, высокая скорость процесса, высокое аспектное соотношение
Оснащение турбомолекулярным насосом
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Настройка оборудования под требования клиента
Опции
Система автоматической загрузки/выгрузки
Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
Возможность усовершенствования до кластерной системы
Оснащается транспортировочной камерой с роботом и датчиками положения пластины. Можно будет добавлять процессные камеры.
Перчаточный бокс
Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
Совместимость с Endpoint monitors (OES, лазер)
Система обнаружения конечных точек для травления ионным пучком с использованием оптической эмиссионной спектроскопии
Позвоните нам по телефону +7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*). Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.