Чрезвычайно гибкая система для мелкосерийного производства
Параллельная обработка пластин диаметром 100, 150 мм без механической замены
Расширяемая и модернизируемая на месте архитектура
Отличная обработка края пластины от резиста благодаря комбинации точности удаления материала и высокотехнологичного современного дизайна держателя и чаши
Индивидуальные решения для обработки стандартных и нестандартных подложек