Чрезвычайно гибкая система для мелкосерийного производства
Параллельная обработка пластин диаметром 100, 150 мм без механической замены
Расширяемая и модернизируемая на месте архитектура
Отличная обработка края пластины от резиста благодаря комбинации точности удаления материала и высокотехнологичного современного дизайна держателя и чаши
Индивидуальные решения для обработки стандартных и нестандартных подложек
4-осевой робот для перемещения подложек
Получить предложение
Спецификация
Робот
Оси управления;4
Количество рук;2
Сенсоры
Датчик подложек;система картографирование кассеты с пластиной (установлен на руке робота)
Датчик считывание кассет;оптический
Плиты
Горячие плиты;5
Горячая плита с нанесением адгезива;1
Температурный диапазон;50 ~ 200 ℃
Однородность нагрева поверхности пластины;комнатная темп.~ 200℃: ±1.0 ℃
Холодная плита;2
Температурный диапазон;20℃~25℃
Однородность нагрева поверхности пластины;≤0.2℃
Тип удержание пластины на поверхности плит; 3-пина (ход вверх/вниз)
Модуль нанесения
Количество;2
Скорость вращения;0 ~ 6,000 об/мин
Точность скорости вращения;±1об/мин
Диапазон ускорения;0 ~ 30 000 об/мин/сек
Точность ускорения; ≤±3 %
Количество дозирующих носиков; 2
Модуль проявления
Количество;2
Скорость вращения;0 ~ 6,000 об/мин
Точность скорости вращения;±1об/мин
Диапазон ускорения;0 ~ 30 000 об/мин/сек
Точность ускорения; ≤±3 %
Количество дозирующих носиков; 2
Один из двух модулей предназначен для Lift-Off процессов
Фильтры
Газовые фильтры для каждого процессного газа;0.05микрон
Фильтра на проявители и дионизованную воду;0.2микрон
Фильтра на фоторезисты;0.1микрон
Позвоните нам по телефону +7 495 150 9546
или заполните форму для получения дополнительной информации и коммерческого предложения
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*). Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.