Оборудование
/
UHV E-Beam System - Установка электронно-лучевого испарения в сверхвысоком вакууме

UHV E-Beam System - Установка электронно-лучевого испарения в сверхвысоком вакууме

Максимальный диаметр пластин: до 8" (200 мм)
Уровень остаточного давления: < 1E–10 Торр
Неравномерность по толщины напыляемых пленок: 3% и лучше (на пластине 200 мм)

Получить предложение

Области применения

Материалы для оптоэлектроники (LED/лазерные диоды)

Устройства передачи

Полупроводниковые устройства

Характеристики

Преимущества

Гибкий подбор габаритных размеров вакуумной камеры зависящий от размера подложки и области применения
Автоматическое управление скоростью осаждения
Возможность одновременной установки нескольких источников с последовательным включением или совместным напылением
Возможность оснащения на выбор: турбомолекулярным, криогенным или диффузионным насосом
Встроенная система безопасности, автоматическая блокировка дверей, клапанов и вентилей
Автоматическая система управления, сенсорный экран
Запись параметров техпроцесса в реальном времени (давление в камере, температура, скорость напыления)
Управление техпроцессом нанесения в реальном времени
Различные уровни доступа к системе (оператор, технолог, инженер-наладчик) с защитой через логин-пароль
Запасной порт для подключения OES, RGA или дополнительного контроля за процессом
Возможность оснащения блоками высокого (HV) и сверхвысокого (UHV) вакуума
Настройка оборудования под требования клиента

Опции

Система автоматической загрузки/выгрузки

Передаточная камера с роботом-манипулятором, оснащается кассетными станциями или загрузчиками для SMIF и FOUP
Перчаточный бокс

Герметичный контейнер интегрированный в систему, который предназначен для манипулирования объектами в отдельной контролируемой чистой атмосфере.
Ионная очистка пластин и подложек

Ионный источник для очистки подложек, ионно-ассистированного напыления и низкоэнергетического травления

Позвоните нам по телефону
+7 495 150 9546

или заполните форму для получения дополнительной информации
и коммерческого предложения

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.