Меню
Предлагаемые решения
Установка нанесения и проявления фоторезиста
  • Чрезвычайно гибкая система для мелкосерийного производства
  • Параллельная обработка пластин диаметром 100, 150 мм без механической замены
  • Расширяемая и модернизируемая на месте архитектура
  • Отличная обработка края пластины от резиста благодаря комбинации точности удаления материала и высокотехнологичного современного дизайна держателя и чаши
  • Индивидуальные решения для обработки стандартных и нестандартных подложек
  • 4-осевой робот для перемещения подложек
Примеры результатов нанесения фоторезиста
Примеры результатов Lift-off и спреевого нанесения
ICP-RIE - Установка индуктивно связанного плазменного травления
  • Максимальный диаметр пластин: до 12" (300 мм)
  • Уровень остаточного давления: < 1E–7 Тор
  • Неравномерность травления: менее ±3% (на пластине 200 мм)
Примеры результатов
ALE - Установка атомно-слоевого травления
Система для высокоточного и равномерного травления микро и наноструктур в различных материалах
Примеры результатов
ALD - Установка атомно-слоевого осаждения
Система для формирования тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения
Примеры результатов
Узнать больше
Оборудование
Главные события отрасли
База знаний
Фотогалерея

ТТМ предоставляет комплексные решения для создания и модернизации микроэлектронных производств – от предпроекта до запуска технологического оборудования.


Мы сотрудничаем с ведущими компаниями и научными учреждениями России и СНГ в области микроэлектроники, реализуя совместные проекты и внедряя передовые технологии.


В рамках своей деятельности ТТМ выполняет полный перечень работ, связанных с эксплуатацией оборудования, включая его подбор, поставку и последующее обслуживание. Собственная сервисная команда из пяти инженеров обеспечивает техническую поддержку, диагностику и обслуживание оборудования.


Ключевые направления деятельности компании:

  • поставка промышленного и специализированного оборудования;
  • подбор оборудования под задачи заказчика;
  • техническое сопровождение и консультация;
  • приемка на заводе-изготовителе (FAT);
  • международная доставка оборудования;
  • распаковка и проверка на комплектность;
  • шефмонтаж и пусконаладка;
  • отработка технологических режимов (SAT);
  • гарантийное обслуживание.

Мы не ограничиваемся поставкой, а участвуем в решении технических и технологических задач, следим за стабильной работой оборудования. Сопровождаем клиента на всех этапах процесса поставки и ввода оборудования в эксплуатацию.


Компания ТТМ ежегодно принимает участие в выставке, открывая возможности для профессионального диалога, обмена опытом и знакомства с новыми технологиями в сфере микроэлектроники.


Билет на мероприятие можно получить по ссылке — будем рады видеть Вас на нашем стенде!

Позвоните нам
+7 (495) 150 95 46
Или оставьте запрос на коммерческое предложение
и дополнительную информацию в этой форме
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.