Меню
En
Ru
  • Партнеры
    /
  • Syskey Technology Co., Ltd.

Syskey Technology

Лидирующий производитель высококачественного вакуумного оборудования для лабораторий и промышленных производств
Оборудование и технологии для полупроводниковых производств
Компания Syskey Technology Co., Ltd. производит высококачественное вакуумное технологическое оборудование как в виде ручных и полуавтоматических решений, так и в виде интегрированных систем для серийного производства. Одним из ключевых достоинств Syskey является возможность глубокой кастомизации оборудования под нужды клиента.

  • Компания Syskey Technology основана в 2001 году.
  • Имеет офис в городе Kunshan, КНР.
  • Основные направление бизнеса: технологическое оборудование для серийного и мелко-серийного производства, а также для реализации научно-исследовательских проектов, разработка и трансфер технологических решений.
  • Syskey Technology разрабатывает и выпускает высокотехнологичное вакуумное оборудование для лабораторий и производств полупроводниковой техники, изделий микроэлектроники, плоских дисплеев (FPD), в т.ч. OLED, оптоэлектронных устройств, солнечных элементов для следующих технологических процессов:
    • магнетронное напыление (PVD),
    • осаждение из газовой фазы (CVD, PECVD),
    • осаждение из жидкой фазы (LPCVD),
    • электронно-лучевое испарение (E-Beam),
    • вакуумное термическое напыление,
    • атомно-слоевое осаждение (ALD) и атомно-слоевое травление (ALE),
    • сухое плазменное травление (RIE / ICP-RIE).

Технологическое оборудование
PVD - Установка магнетронного напыления
Универсальная установка магнетронного напыления тонких плёнок металлов, оксидов и нитридов
UHV - Установка напыления плёнок в сверхвысоком вакууме
Универсальная установка напыления тонких плёнок в сверхвысоком вакууме (Ultra High Vacuum) с использованием различных источников
TES - Установка термического испарения
Универсальная установка напыления тонких плёнок методом термического испарения (Thermal Evaporate System)
E-Beam - Установка электронно-лучевого испарения
Универсальная установка напыления тонких плёнок по методу электронно-лучевого испарения (Electron Beam Evaporation)
ALD - Установка атомно-слоевого осаждения
Система для формирования тонких плёнок методом атомно-слоевого осаждения
ALE - Установка атомно-слоевого травления
Система для высокоточного и равномерного травления микро и наноструктур в различных материалах
PECVD - Установка плазмохимического осаждения
Гибкое решение для плазменного осаждения тонких плёнок из газовой фазы
RIE - Установка плазменного травления
Решение для плазменного травления кремния, оксидных и нитридных пленок
Запасные части и расходники
Детали из кварца
Высококачественные детали и запасные части из кварца ОСЧ. Кольца фокусировки, защитные экраны, опорные плиты, опорные диски, элементы и сборочные единицы комплектов оснастки для высокотемпературного оборудования
Расходные материалы
Уплотнительные кольца, трубки и колпаки, диафрагмы, прочие мелкие детали, а также услуги по специальной механической и электро-механической обработке
Керамические детали
Различные детали и сборки из керамики, в т.ч. SiC и др., включая кольца, трубки и колпаки, элементы манипуляторов для роботов, штифты и винты, изоляторы, опорные плиты
Металлические детали и части
Металлические детали, элементы и сборки комплектов оснастки сложных и ответственных механических форм из высококачественных марок стали, в т.ч. для элементов вакуумных систем
Обслуживание и сервис
service
Сервис и поддержка клиентов
Простое и надёжное высокотехнологичное решение для мелкосерийных производств, исследовательских лабораторий и научных центров
  • Более 18 лет опыта в производстве оборудования
  • Фокус на стабильно растущем рынке научно-исследовательских задач под различные применения
  • Богатый опыт в оборудовании и технологии для удовлетворения всех возможных потребностей клиента
  • Глобальная сеть продаж с расширенной дистрибьюцией
  • ПО собственной разработки с возможностью кастомизации
  • Работа worldwide (по всему миру)
Ремонт и восстановление компонентов оборудования
Компания Syskey Technology осуществляет ремонт и полное восстановление компонентов систем, таких как:
  • компрессоры;
  • печатные платы и модули управления;
  • сухие и масляные вакуумные насосы;
  • компоненты реакторов и рабочих камер.
Перемещение и инсталляция оборудования
Предоставляем услуги по перемещению производственного оборудования, в том числе целых линий, а также проведение шефмонтажных работ по новому месту размещения и сервисное обслуживание:
  • шефмонтаж, запуск, пусконаладка и восстановление систем и компонентов систем производства AMAT (Applied Materials) для PECVD и ALD;
  • Услуги по безопасному перемещению технологического оборудования для производств полупроводниковых приборов, плоских дисплеев и солнечных элементов;
  • Профессиональный инжиниринг и трансфер технологии.
Позвоните нам по телефону +7 (495) 150 9546
или отправьте заявку в этой форме
Укажите, пожалуйста, тему Вашего запроса, чтобы мы смогли быстрее направить Вам ответ
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.