Меню
Оборудование для литографических процессов
Полуавтоматические установки нанесения фоторезиста
Полуавтоматические установки проявления фоторезиста
Полуавтоматические установки спреевого нанесения фоторезиста
Автоматические установки нанесения и проявления фоторезиста (трек-системы) для норм 180нм и выше
Автоматические установки нанесения и проявления фоторезиста (трек-системы) для норм 350нм и выше
Автоматические установки взрывной литографии (Lift-Off)
Безмасковая литография
Удаление (травление) и зачистка фоторезиста в микроволновой кислородной плазме (Ashing, Descam)
Контактная литография
Пошаговая проекционная литография ASML (восстановленные)
Пошаговая проекционная литография Nikon (восстановленные)
Электронно-лучевая литография (EBL)
Сложные кластерные системы, которые могут включать в себя различные камеры напыления/осаждения/травления и др. в требуемой конфигурации
Запасные части и расходники
Детали из кварца
Высококачественные детали и запасные части из кварца ОСЧ. Кольца фокусировки, защитные экраны, опорные плиты, опорные диски, элементы и сборочные единицы комплектов оснастки для высокотемпературного оборудования
Расходные материалы
Уплотнительные кольца, трубки и колпаки, диафрагмы, прочие мелкие детали, а также услуги по специальной механической и электро-механической обработке
Керамические детали
Различные детали и сборки из керамики, в т.ч. SiC и др., включая кольца, трубки и колпаки, элементы манипуляторов для роботов, штифты и винты, изоляторы, опорные плиты
Металлические детали и части
Металлические детали, элементы и сборки комплектов оснастки сложных и ответственных механических форм из высококачественных марок стали, в т.ч. для элементов вакуумных систем
Обслуживание и сервис
Сервис и поддержка клиентов
Простое и надёжное высокотехнологичное решение для мелкосерийных производств, исследовательских лабораторий и научных центров
  • Более 18 лет опыта в производстве оборудования
  • Фокус на стабильно растущем рынке научно-исследовательских задач под различные применения
  • Богатый опыт в оборудовании и технологии для удовлетворения всех возможных потребностей клиента
  • Глобальная сеть продаж с расширенной дистрибьюцией
  • ПО собственной разработки с возможностью кастомизации
  • Работа worldwide (по всему миру)
Ремонт и восстановление компонентов оборудования
ООО "ТТМ" осуществляет ремонт и полное восстановление компонентов систем, таких как:
  • компрессоры;
  • печатные платы и модули управления;
  • сухие и масляные вакуумные насосы;
  • компоненты реакторов и рабочих камер.
Перемещение и инсталляция оборудования
Предоставляем услуги по перемещению производственного оборудования, в том числе целых линий, а также проведение шефмонтажных работ по новому месту размещения и сервисное обслуживание:
  • шефмонтаж, запуск, пусконаладка и восстановление систем и компонентов систем производства AMAT (Applied Materials) для PECVD и ALD;
  • Услуги по безопасному перемещению технологического оборудования для производств полупроводниковых приборов, плоских дисплеев и солнечных элементов;
  • Профессиональный инжиниринг и трансфер технологии.
Позвоните нам по телефону +7 (495) 150 9546
или отправьте заявку в этой форме
Укажите, пожалуйста, тему Вашего запроса, чтобы мы смогли быстрее направить Вам ответ
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.