Меню
En
Ru
+7 (495) 150-95-46

En Ru
Главная  /  Оборудование

Оборудование для производства микроэлектроники

ООО «ТТМ» предлагает высококачественное вакуумное технологическое оборудование как в виде ручных и полуавтоматических решений, так и в формате интегрированных систем для серийного производства. Одним из ключевых преимуществ является возможность глубокой кастомизации оборудования под конкретные задачи заказчика.
Мы поставляем оборудование для серийного и мелкосерийного производства, а также для научно-исследовательских проектов, обеспечивая разработку и трансфер технологических решений. Наши системы используются в лабораториях и на предприятиях микроэлектроники, полупроводниковой техники, производства плоских дисплеев (FPD), OLED, оптоэлектронных устройств и солнечных элементов.
ООО «ТТМ» ответит на любые Ваши вопросы и поможет подобрать оптимальное решение для Ваших задач
Получить предложение
Предлагаемые технологические решения охватывают следующие процессы:
  • магнетронное напыление (PVD),
  • осаждение из газовой фазы (CVD, PECVD),
  • осаждение из газовой фазы (LPCVD),
  • электронно-лучевое испарение (E-Beam),
  • вакуумное термическое напыление,
  • атомно-слоевое осаждение (ALD) и атомно-слоевое травление (ALE),
  • сухое плазменное травление (RIE / ICP-RIE).
ООО «ТТМ» обеспечивает индивидуальный подбор оборудования, его интеграцию в технологический процесс и последующую техническую поддержку, гарантируя высокую производительность и надежность решений.

Вакуумные и плазмохимические
технологические процессы

Имплантация

Термические процессы

Оборудование для литографических процессов

Жидкостная химическая обработка

Механическая обработка

Сборочные операции

Измерительное оборудование

Запасные части и расходники

Детали из кварца
Высококачественные детали и запасные части из кварца ОСЧ. Кольца фокусировки, защитные экраны, опорные плиты, опорные диски, элементы и сборочные единицы комплектов оснастки для высокотемпературного оборудования
Расходные материалы
Уплотнительные кольца, трубки и колпаки, диафрагмы, прочие мелкие детали, а также услуги по специальной механической и электро-механической обработке
Керамические детали
Различные детали и сборки из керамики, в т.ч. SiC и др., включая кольца, трубки и колпаки, элементы манипуляторов для роботов, штифты и винты, изоляторы, опорные плиты

Обслуживание и сервис

Сервис и поддержка клиентов
Простое и надёжное высокотехнологичное решение для мелкосерийных производств, исследовательских лабораторий и научных центров
  • Более 18 лет опыта в производстве оборудования
  • Фокус на стабильно растущем рынке научно-исследовательских задач под различные применения
  • Богатый опыт в оборудовании и технологии для удовлетворения всех возможных потребностей клиента
  • Глобальная сеть продаж с расширенной дистрибьюцией
  • ПО собственной разработки с возможностью кастомизации
  • Работа worldwide (по всему миру)
Ремонт и восстановление компонентов оборудования
ООО "ТТМ" осуществляет ремонт и полное восстановление компонентов систем, таких как:
  • компрессоры;
  • печатные платы и модули управления;
  • сухие и масляные вакуумные насосы;
  • компоненты реакторов и рабочих камер
Перемещение и инсталляция оборудования
Предоставляем услуги по перемещению производственного оборудования, в том числе целых линий, а также проведение шефмонтажных работ по новому месту размещения и сервисное обслуживание:
  • шефмонтаж, запуск, пусконаладка и восстановление систем и компонентов систем производства AMAT (Applied Materials) для PECVD и ALD;
  • Услуги по безопасному перемещению технологического оборудования для производств полупроводниковых приборов, плоских дисплеев и солнечных элементов;
  • Профессиональный инжиниринг и трансфер технологии
Позвоните нам по телефону +7 (495) 150 9546
или отправьте заявку в этой форме
Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.