Главная / Оборудование / Ручной оптический микроскоп

Ручной оптический микроскоп

Оборудование предназначено для визуального контроля и метрологии полупроводниковых пластин, фотошаблонов, кристаллов и других микроструктур на различных этапах производства

Получить предложение

Принцип работы основан на использовании отражённого (эпископического) и проходящего (диаскопического) света для формирования увеличенного изображения поверхности образца. Современные ручные микроскопы оснащаются высококачественными объективами с коррекцией хроматических и сферических аберраций, многорежимными системами освещения (светлое поле, тёмное поле, дифференциальный интерференционный контраст — DIC, поляризация) и механическими предметными столиками с прецизионным перемещением для сканирования поверхности пластины.

Фотоника и оптоэлектроника

Органическая электроника

МЭМС

Кремниевая электроника

Силовая электроника

СВЧ

Характеристики

Опции

Преимущества

Общие характеристики

Тип системы

Ручной (полностью ручное управление) / полуавтоматический (ручная загрузка, автоматическая фокусировка — опционально)

Тип микроскопа

Металлографический (отражённый свет) / инвертированный / комбинированный (отражённый + проходящий свет)

Диаметр пластин

От 50 мм до 200 мм (2, 4, 6, 8 дюймов) — стандарт; 300 мм (12 дюймов) — с моторизованным столиком (опция)

Оптическая система

Бесконечно-корректированная (infinity-corrected)

Общее увеличение

От 25× до 1000× (стандарт: 10× окуляр × 100× объектив)

Объективы

План-апохроматические / полуапокроматические (Semi-Apo): 5×, 10×, 20×, 50×, 100×

Числовая апертура (N.A.)

0,15 (5×) – 0,90 (100×)

Рабочее расстояние (W.D.)

От 0,42 мм (100×) до 18,0 мм (5×)

Методы наблюдения

Светлое поле (BF), тёмное поле (DF), дифференциальный интерференционный контраст (DIC), поляризация, флуоресценция (опционально)

Освещение

Отражённое (эпископическое) / проходящее (диаскопическое); галоген / LED

Источник света

100 Вт галоген / 10 Вт LED (регулируемый)

Оптическая головка

Тринокулярная (для подключения камеры), наклон 30°, сверхширокоугольное поле зрения

Окуляры

Широкоугольные PL10X, с вынесенной точкой фокусировки и регулировкой диоптрий

Револьверная головка

5–7 позиций (для объективов), слоты для DIC-призм

Предметный столик

Механический, с перемещением по осям X/Y

Перемещение столика (X/Y)

100×105 мм – 205×205 мм (стандарт для 8-дюймовых пластин)

Механизм фокусировки

Коаксиальная грубая и тонкая настройка

Ход фокусировки (Z)

32–35 мм (грубая); точность тонкой настройки 0,001 мм

Максимальная высота образца

До 30 мм

Управление

Ручное (механические органы управления)

Габариты (Ш×Г×В)

От 430×591×495 мм

Масса

От 26 кг

Опции

Методы наблюдения:

- Светлое поле (Brightfield, BF) — стандартный метод для наблюдения рельефа и структуры поверхности
- Тёмное поле (Darkfield, DF) — для обнаружения царапин, частиц и дефектов, невидимых в светлом поле
- Дифференциальный интерференционный контраст (DIC) — для визуализации перепадов высот поверхности менее 1 нм
- Поляризация — для устранения бликов от зеркальных поверхностей
- Флуоресценция (эпифлуоресценция) — для специальных исследований

Объективы:

- План-ахроматические / план-апохроматические объективы с увеличениями: 2,5×, 5×, 10×, 20×, 50×, 100×
- Длиннофокусные объективы (LWD) с увеличенным рабочим расстоянием
- Специализированные объективы: 150× (для специальных задач, с малым рабочим расстоянием и критичностью к вибрациям)
- Объективы с UV-коррекцией (для работы на длине волны i-line 365 нм). Примечание: для метрологии узлов 90 нм и ниже требуются автоматизированные системы инспекции (AOI/CD-SEM).

Предметные столики:

- Моторизованный XY-столик с сервоприводами и функцией картирования (Wafer Mapping) — для работы с 300-мм пластинами и автоматизированного позиционирования
- Сменные предметные столики для разных типов образцов
- Поворотный столик для кругового осмотра
- Вакуумный держатель пластин

Освещение:

- Регулируемое светодиодное освещение (LED) с низким тепловыделением
- Галогенное освещение (100 Вт)
- Ртутная или ксеноновая лампа для флуоресценции

Цифровая визуализация:

- Подключение цифровой камеры (через тринокулярную головку)
- Программное обеспечение для захвата, обработки и анализа изображений
- Автоматическое измерение размеров и подсчёт дефектов

Аксессуары:

- Набор объективов и окуляров с различными увеличениями
- Термоплатформа для наблюдения при нагреве
- Система антистатической защиты (ESD)

Эргономика и безопасность:

- Регулируемая высота окуляров
- Удобное расположение органов управления (для левшей или правшей)
- Соответствие стандартам SEMI S2/S8 (для промышленных моделей)

Преимущества

Ключевое преимущество ручного оптического микроскопа

Непосредственное визуальное наблюдение с возможностью быстрой смены увеличения, настройки освещения и фокусировки, что критически важно для обнаружения дефектов, измерения размеров и оценки качества обработки на ранних стадиях производства. Несмотря на широкое внедрение автоматизированных систем, ручной оптический контроль остаётся незаменимым в исследованиях, разработках и при выборочном контроле качества

Позвоните нам +7 (495) 150 95 46

Или оставьте запрос на коммерческое предложение
и дополнительную информацию в этой форме

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.

Назад