Установки рентгенографического контроля качества монтажа полупроводниковых компонентов (неразрушающий контроль)

Тип системы

Полностью автоматическая (AXI) / полуавтоматическая / ручная; 2D / 2.5D / 3D (с томографией)

Рентгеновская трубка

Микрофокусная / нанофокусная, открытого или закрытого типа; материал анода: вольфрам (W), молибден (Mo)

Напряжение трубки

40 – 180 кВ

Ток трубки

10 – 1000 мкА

Мощность трубки

8 – 64 Вт

Размер фокального пятна

0,5 – 5 мкм (микрофокус); < 0,5 мкм (нанофокус)

Разрешение (детектируемость дефектов)

0,5 – 5 мкм

Геометрическое увеличение

До 4800×

Общее увеличение

До 2000× – 4800×

Тип детектора

Плоскопанельный (FPD), кремниевый

Разрешение детектора

1536×1536 – 3,2 Мп

Размер пикселя детектора

76 – 85 мкм

Частота кадров

до 30 кадров/с

Размер поля инспекции

До 635×358 мм

Область инспекции

От 153×204 мм до 550×550 мм

Максимальный размер образца

До 950×530 мм

Максимальная масса образца

до 12–20 кг

Предметный столик

Моторизованный; оси X, Y, Z, наклон (до 70°), вращение (до 360°)

Перемещение по осям X/Y

До 400×450 мм

Методы инспекции

2D, 2.5D, 3D (срезка), Planar CT, полноценная КТ

Управление

Промышленный ПК, специализированное ПО, AI-поддержка, рецептурное управление

Интеграция

Поддержка SECS/GEM, SMEMA, MES

Класс чистоты

Поддержка чистых помещений (Clean Room)

Утечка излучения

< 1 мкЗв/час — не требует специального рентгеновского кабинета

Питание

220 В / 110 В, 50/60 Гц

Тип рентгеновской трубки:

- Закрытого типа — не требует обслуживания, срок службы до 10000 часов
- Открытого типа — более высокое разрешение, возможность замены нити накала

Материал анода трубки:

- Вольфрам (W) — максимальная мощность, высокая проникающая способность
- Молибден (Mo) — лучшее разрешение для слабопоглощающих материалов

Методы инспекции:

- 2D-радиоскопия — базовый метод для быстрого контроля
- 2.5D-визуализация — наклонное сканирование для обзора под разными углами
- 3D-срезка — послойный анализ внутренней структуры
- Planar CT — плоскостная компьютерная томография
Полноценная 3D-компьютерная томография (КТ) — построение - - 3D-модели для детального изучения

Программное обеспечение и AI:

- BGA-модуль — автоматический поиск шариков BGA, расчёт площади пустот, анализ округлости и смещения
- QFN/LGA-модуль — измерение площади покрытия припоем на теплоотводящих площадках
- Wire Bonding — контроль целостности проводников
- AI-обнаружение дефектов — автоматическая классификация пустот, недостатка/избытка припоя, перемычек
- AI-Void Detection — автоматическое обнаружение и измерение пустот
- Статистический анализ и экспорт данных

Автоматизация:

- Встраиваемые в линию (Inline) системы — с конвейерной загрузкой/выгрузкой
- Автоматическая смена настроек — для быстрой переналадки при смене продукции
- Интеграция с MES — прослеживаемость данных по штрих-коду

Манипулятор и позици­онирование:

- 6-осевой манипулятор — перемещение по X, Y, Z, наклон, вращение, дополнительная ось
- Наклон детектора до 70° — для проверки скрытых соединений по периметру
- Вращение стола 360° — для кругового обзора

Безопасность:

- Полная защита (Full Shielding) — утечка излучения менее 1 мкЗв/час
- Предохранительная блокировка и автоматическое отключение при простое
- Соответствие санитарным нормам РФ — не требует организации специального рентгеновского кабинета

Ключевое преимущество рентгенографического контроля