Главная / Оборудование / Установка резки слитков

Установка резки слитков

Оборудование предназначено для резки монокристаллических и поликристаллических слитков полупроводниковых материалов (кремний, германий, карбид кремния, сапфир и др.) на отдельные пластины заданной толщины. Это критически важный этап в производственном цикле, определяющий геометрические параметры и качество исходных пластин для последующего изготовления микроэлектронных компонентов

Получить предложение

Процесс резки может осуществляться двумя основными способами:

Алмазная дисковая резка (ID/OD sawing) — резка производится тонким вращающимся диском с алмазным покрытием. Обеспечивает высокую точность при минимальных потерях материала. Подходит для единичной резки или небольших партий.
Многопроволочная резка (Multi-wire sawing) — в процессе используется множество параллельных стальных проволочек, покрытых абразивной суспензией (или алмазным слоем).

Позволяет разрезать весь слиток на сотни пластин одновременно. Это основной метод для крупносерийного производства, обеспечивающий высокую производительность и качество поверхности.
Современные установки представляют собой полностью или полуавтоматизированные системы, интегрированные с модулями загрузки/выгрузки, автоматического совмещения, а часто и с встроенными системами отмывки пластин после резки.

Фотоника и оптоэлектроника

Органическая электроника

МЭМС

Кремниевая электроника

Силовая электроника

СВЧ

Характеристики

Опции

Общие характеристики

Тип системы

Установка дисковой резки / Многопроволочная пила

Диаметр обрабатываемых слитков

От 50 мм до 300 мм и более

Максимальная длина слитка

До 820 мм и более

Количество одновременно режущих проволок (для многопроволочных систем)

200–1000 и более

Толщина нарезаемых пластин

От 0,1 мм (100 мкм) до 20 мм (в зависимости от задачи)

Ширина реза

- 0,15–0,4 мм (дисковая резка)
- 0,1–0,3 мм (проволочная)

Скорость вращения шпинделя (дисковые системы)

1 000 – 5 000 об/мин

Мощность привода / шпинделя

Дисковая резка: 1,2–2,4 кВт
Проволочная резка: до 20 кВт и более

Скорость резки

Дисковая резка: 0,01–300 мм/с (программируемая)
Проволочная резка: 0,01–2,50 мм/мин

Скорость перемещения проволоки (проволочные системы)

До 2600 м/мин

Точность позиционирования

Минимальный шаг по осям X/Y: 0,1–1 мкм

Загрузка

Ручная (R&D), полуавтоматическая или полностью автоматическая (из кассеты в кассету)

Управление

ПЛК + HMI, автоматическое совмещение, автофокусная камера

Питание

220–480 В, 1 или 3 фазы, 50/60 Гц

Габариты (Ш×Г×В)

Компактные: от 650×950×1730 мм
Промышленные: до 3000×2500×2500 мм

Масса

Компактные: от 1800 кг
Промышленные: от 3000 кг до 22 500 кг

Опции

Встроенный модуль отмывки — автоматическая промывка и сушка нарезанных пластин непосредственно после резки

Автоматическая загрузка/выгрузка — роботизированная подача слитков и выгрузка пластин в кассеты

Система охлаждения (чиллер) — поддержание стабильной температуры в зоне реза для предотвращения деформаций

Бесконтактный детектор высоты — автоматическое определение положения поверхности слитка

Детектор сломанного диска/проволоки — аварийная остановка при обрыве режущего инструмента

Система автоматической подачи абразивной суспензии — для многопроволочных станков

Поддержка различных материалов — кремний, германий, карбид кремния, сапфир, стекло, керамика

Интеграция с MES — поддержка протоколов SECS/GEM для автоматизированных производственных линий

Конструкция механизма вращения подложки для сверхвысоковакуумного напыления и высокотемпературного нагрева. Используется керамический корпус, водяное охлаждение внутри для защиты механизма вращения и обеспечения его стабильной работы на долгое время.

Гибкий подбор размеров вакуумной камеры зависящий от размера подложки и области применения

Полно диапазонный датчик вакуума с цифровым дисплеем и Баратрон для управления давлением в системе по замкнутому контуру

Несколько испарителей с последовательной работой или совместным напылением

ВЧ-, НЧ- или импульсные источники для диэлектриков и токопроводящих материалов

Напыление многослойных плёнок выбранными материалами мишеней

Регулируемая высота магнетронов, (расстояние между мишенью и подложкой)

Позвоните нам +7 (495) 150 95 46

Или оставьте запрос на коммерческое предложение
и дополнительную информацию в этой форме

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.

Назад