Главная / Оборудование / Автоматическая установка нанесения и проявления фоторезиста (трек-система) для норм 90 нм и выше

Автоматическая установка нанесения и проявления фоторезиста (трек-система) для норм 90 нм и выше

Полностью автоматизированная трек-система для обработки кремниевых пластин в процессах фотолитографии, включая нанесение фоторезиста, проявление, термообработку (запекание и охлаждение), а также удаление краевого слоя (EBR). Оборудование оснащено SMIF-интерфейсом для загрузки кассет в среде стандартного механического интерфейса, что обеспечивает высокую чистоту и защиту от контаминации. Система предназначена для интеграции с DUV-экспозиционными сканерами/степперами и поддерживает производство полупроводниковых приборов по технологическим нормам 90 нм и выше

Получить предложение

Фотоника и оптоэлектроника

Органическая электроника

МЭМС

Кремниевая электроника

Силовая электроника

СВЧ

Характеристики

Опции

Общие характеристики

Размер обрабатываемых пластин:

200 мм (8") — стандарт, возможность адаптации под 150 мм и 300 мм

Загрузочный интерфейс:

SMIF EFEM (Standard Mechanical Interface) на 4 порта, поддержка 25-слотовых кассет

Класс чистоты в рабочей зоне:

ISO Class 1 (Class 10)

Конфигурация модулей (базовая):

- Блоки нанесения резиста (Coater): 2 независимых спин-модуля
- Блоки проявления (Developer): 2 независимых спин-модуля
- Горячие плиты (Hot Plate): 12 модулей с диапазоном 50–200°C
- Охлаждающие плиты (Cool Plate): 4 модуля с диапазоном 50–200°C

Точность температурного контроля:

- 50–150°C: ±0,8°C
- 150–200°C: ±1,5°C

Метод контакта пластины с горячей плитой:

проксимити-зазор (100 мкм) с подъёмом на пинах

Скорость вращения спин-модулей:

до 5000 об/мин (регулируемая), точность установки ±1 об/мин

Система дозирования резиста:

- Подача через диафрагменный шаговый насос
- Температурный контроль резиста на локальном уровне (Local Temp. Control)
- Мониторинг остатка резиста с помощью датчиков (Load Cell / Empty Sensor)

Система удаления краевого слоя (EBR):

отдельный рычаг с шаговым двигателем

Точность позиционирования дозирующего рычага:

≤ ±0,2 мм

Промывка обратной стороны пластины (Backside Rinse) для защиты от контаминации

Управление: промышленный контроллер с сенсорным экраном (21")

Программирование процессов: рецепты с поддержкой гибких профилей скорости вращения (T–RPM), пилотный режим для индивидуальной обработки пластин

Отображение статуса обработки: цветовая индикация (ожидание, обработка, завершено)

Протоколирование: журнал операций, лог данных, параметры процесса (время, температура, скорость, расход)

Многоуровневый доступ: оператор, технолог, инженер (защита паролем)

Коммуникационные протоколы: SECS/GEM, RS-232C, EtherCAT

Встроенная система видеонаблюдения: 6 камер с записью для мониторинга работы в реальном времени

Конструкция: нержавеющая сталь, компактный дизайн для экономии площади чистого помещения

Безопасность: аварийный стоп, блокировки дверей, датчики перекоса пластины, защита от перегрева

Опции

Увеличенное количество SMIF-портов (до 4)

Модуль нанесения антиотражающего слоя (BARC) или адгезионного слоя (HMDS)

Система химического охлаждения пластин после запекания (Chill Plate с увеличенной скоростью)

Дополнительные горячие плиты (до 16 модулей)

Интеграция с системой централизованного химического снабжения (CCSS)

Интерфейс для связи с экспозиционным оборудованием (степпер/сканер) через SECS/GEM

Автоматическая калибровка дозирующих насосов и датчиков уровня

Опция обработки 300 мм пластин (переоснащение)

Расширенный диапазон температур (до 250°C) для специальных резистов

Дополнительный модуль Edge Bead Removal с увеличенной точностью

Усиленная вытяжка для агрессивных химических сред (разработчики, растворители)

Опция загрузки через FOUP вместо SMIF

Ключевое преимущество СЭМ:

Нанометрическое разрешение в сочетании с большой глубиной резкости, позволяющей получать трёхмерные изображения микроструктур. Это критически важно для контроля качества, анализа отказов и обеспечения выхода годных изделий в современном полупроводниковом производстве

Позвоните нам +7 (495) 150 95 46

Или оставьте запрос на коммерческое предложение
и дополнительную информацию в этой форме

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.

Назад