Главная / Оборудование / Установка групповой отмывки и сушки пластин

Установка групповой отмывки и сушки пластин

Оборудование предназначено для одновременной («групповой») обработки кассеты пластин с целью удаления органических и ионных загрязнений, частиц и остатков фоторезиста. В отличие от однопластинных систем, групповая отмывка построена на принципе иммерсионной (погружной) или спрей-обработки: партия пластин в специальной «лодочке» (boat) последовательно перемещается между ваннами с нагретыми химическими растворами, деионизованной водой и модулем финишной сушки.

Получить предложение

Ключевая особенность — высокая производительность и низкая себестоимость обработки одной пластины за счёт эффективного использования и рециркуляции химических реагентов. Современные установки обеспечивают низкий уровень частиц (например, <10–50 шт. размером >0,2 мкм на пластину для зрелых техпроцессов) после финишной сушки.

Фотоника и оптоэлектроника

Органическая электроника

МЭМС

Кремниевая электроника

Силовая электроника

СВЧ

Характеристики

Опции

Преимущества

Общие характеристики

Тип системы

Иммерсионная (wet bench), спрей-система (batch spray), гибридная dry-to-dry

Диаметр пластин

От 50 мм до 300 мм (2, 4, 6, 8, 12 дюймов)

Размер партии (лота)

25 (стандарт для 300 мм), 50, 100 или 150 пластин (для 150–200 мм, в зависимости от модели)

Конфигурация ванн / камер

От 2 до 16+ модулей (SC-1, SC-2, HF, SPM, промывочные ванны QDR, сушильная камера)

Мегазвук / ультразвук

Мегазвук (0,8–2 МГц) — штатно для многих систем для усиления удаления частиц, особенно в SC-1

Загрузка

Ручная (R&D) или полностью автоматическая (роботизированная передача из FOUP/кассет)

Производительность

До 150–300+ пластин/час для 300 мм (зависит от количества параллельных модулей и рецепта); до 500+ пластин/час для 150/200 мм

Класс чистоты

ISO Class 3–5 внутри модулей

Управление

Промышленный ПК с ПЛК и HMI; полная поддержка протоколов SECS/GEM, GEM300, интеграция с MES

Питание / энергопотребление

200–480 В, 3 фазы, 50/60 Гц; от 15 кВт (компактные) до 80+ кВт (многомодульные промышленные)

Потребление химикатов

Существенно ниже в пересчёте на одну пластину по сравнению с однопластинными системами (за счёт рециркуляции)

Потребление DI-воды

Оптимизировано, особенно в спрей-системах (экономия до 30–50% по сравнению с классической иммерсией)

Потребление N₂ / CDA

N₂: 50–150 л/мин (2–3 бар); Сжатый воздух (CDA): 4,8–7,6 бар

Габариты (Ш×Д×В)

Модульные: от 1×1 м до многомодульных линейных стоек длиной 3–6 м

Масса

От 500 кг (R&D) до >3000 кг (промышленные dry-to-dry системы)

Опции

Мегазвуковая обработка: Встроенные генераторы в ваннах (частота 0,8–2 МГц) для усиленного удаления субмикронных частиц без повреждения структур

Система рециркуляции химикатов: Фильтрация и возврат реагентов (SPM, SC-1, SC-2) в процесс для снижения расхода и затрат на утилизацию опасных отходов

Dry-to-dry конфигурация: Полная автоматизация линии от загрузки сухих пластин до выгрузки сухих, исключающая промежуточное хранение во влажной среде

Автоматический контроль концентрации: Онлайн-датчики и системы автоматического долива (auto-dosing) для поддержания стабильного состава ванн

Система быстрой промывки QDR (Quick Dump Rinse): Сверхбыстрый гравитационный слив промывочной воды для минимизации времени цикла и расхода DI-воды

Контроль качества DI-воды: Встроенные датчики удельного электрического сопротивления (до 18,2 МОм·см) и температуры

Специализированные режимы Post-CMP: Оптимизированные химические рецепты и мегазвуковые профили для эффективного удаления суспензии без механического воздействия (щётки в batch-системах не применяются во избежание царапин)

Поддержка тонких и нестандартных пластин: Специальные кассеты и держатели для хрупких подложек SiC, GaN, IGBT

Экологичные опции: Локальные системы нейтрализации стоков, улавливания аэрозолей и озонированная отмывка как замена «пиранье»

Batch Immersion:

Высокая производительность на партию
Низкая себестоимость за счёт рециркуляции
Отличная равномерность

Batch Spray:

Существенная экономия химикатов и DI-воды (до 30–50%)
Меньший риск перекрёстного загрязнения
Компактность

Гибридные (Dry-to-Dry):

Исключает ручной перенос и контакт с воздухом
Стабильное качество сушки без разводов
Полная совместимость с автоматизированными Fab

Позвоните нам +7 (495) 150 95 46

Или оставьте запрос на коммерческое предложение
и дополнительную информацию в этой форме

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.

Назад