Главная / Оборудование / Автоматическая установка взрывной литографии (Lift-Off)

Автоматическая установка взрывной литографии (Lift-Off)

Автоматическая установка взрывной литографии предназначена для удаления фоторезистивного слоя вместе с нанесённым на него металлом или диэлектриком в процессах "взрывной" литографии (lift-off). Оборудование обеспечивает высокоэффективное удаление лишних слоёв с поверхности подложек с использованием химических растворителей, ультразвуковой или мегазвуковой обработки, а также контролируемой температуры и времени процесса. Система полностью автоматизирована, включает в себя загрузку/выгрузку кассет, обработку в химических ваннах, промывку и сушку. Применяется для формирования топологии приборов с высоким разрешением в оптоэлектронике, ВЧ- и СВЧ-приборах, полупроводниковых структурах

Получить предложение

Фотоника и оптоэлектроника

Органическая электроника

МЭМС

Кремниевая электроника

Силовая электроника

СВЧ

Характеристики

Опции

Общие характеристики

Размеры обрабатываемых подложек:

диаметр до 200 мм (8") — возможна адаптация под 2", 3", 4", 6", 8" пластины, а также прямоугольные фрагменты

Материалы подложек:

кремний (Si), арсенид галлия (GaAs), нитрид галлия (GaN), сапфир, керамика, стекло

Толщина подложек:

0,3–1,5 мм (допускается коробление до 800 мкм)

Количество обрабатывающих модулей:

- Ванны с органическими растворителями (NMP, DMF, DMSO, ACE, IPA) — до 4 независимых позиций
- Ванны с DIW (деионизированная вода) — 2–4 позиции
- Ванны с ультразвуковой (US) или мегазвуковой (Megasonic) обработкой — до 2 позиций

Диапазон температур обработки:

- Нагрев растворителей: комнатная – 150°C (точность ±1°C)
- Охлаждение DIW: 10–25°C (точность ±0,5°C)

Время выдержки в ванне:

программируемое, 0–9999 сек

Скорость вращения подложки (при центрифужной промывке/сушке):

0–3000 об/мин (регулируемая, шаг 1 об/мин)

Точность скорости вращения:

±1 об/мин

Частота ультразвуковой обработки:

40 кГц (стандарт) или 1 МГц (мегазвук — опция)

Мощность ультразвука:

регулируемая, до 200 Вт на ванну

Система автоматической смены химических реагентов и фильтрации:

- Фильтрация растворителей: 0,1 мкм
- Фильтрация DIW: 0,1 мкм
- Фильтрация N₂: 0,003 мкм

Загрузочный интерфейс: кассетный загрузчик на 25 слотов (стандарт SMIF или FOUP — опция)

Управление: промышленный контроллер (PLC) с сенсорным экраном 10–21"

Хранение рецептов: до 999 рецептов, многоступенчатое программирование

Многоуровневый доступ: оператор, технолог, инженер (защита паролем)

Протоколирование процесса: температура, время, расход, скорость вращения, уровень жидкости, давление

Конструкция: SUS304 / SUS316L нержавеющая сталь, химически стойкие материалы (PFA, PTFE, PVDF, PP)

Встроенная фильтрация воздуха: HEPA/ULPA (класс ISO 1 или лучше)

Безопасность: аварийный стоп, блокировка дверей, датчики уровня жидкости, контроль температуры, защита от перегрева, вытяжная вентиляция

Коммуникационные протоколы: EtherCAT, RS-232, RS-485, опционально SECS/GEM

Чистота рабочей зоны: ISO Class 1 (Class 10)

Опции

Мегазвуковая обработка (1 МГц) для деликатного удаления частиц без повреждения структур

Дополнительные химические ванны (NMP, DMF, DMSO, TMAH и др.)

Система автоматического долива химикатов с поддержанием уровня и концентрации

Охлаждение/нагрев подложкодержателя в процессе обработки

Интеграция с перчаточным боксом (для работы в среде азота или инертного газа)

Загрузочный шлюз (load-lock) для поддержания сухой атмосферы

Автоматическая система замены фильтров с индикацией ресурса

Расширенный диапазон температур (до 200°C) для высокотемпературных растворителей

Увеличенный размер ванн для обработки до 300 мм пластин

Функция сушки пластин горячим N₂ с программируемым профилем

Интерфейсы SECS/GEM, Ethernet для интеграции в автоматизированную линию

Ключевое преимущество СЭМ:

Нанометрическое разрешение в сочетании с большой глубиной резкости, позволяющей получать трёхмерные изображения микроструктур. Это критически важно для контроля качества, анализа отказов и обеспечения выхода годных изделий в современном полупроводниковом производстве

Позвоните нам +7 (495) 150 95 46

Или оставьте запрос на коммерческое предложение
и дополнительную информацию в этой форме

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.

Назад