Скрубберы – Системы локальной очистки отходящих газов (Local Scrubbers)

Производительность по потоку газа (зависит от модели):

- Для плазменно-жидкостных, дожиговых и термических: 600 л/мин, 600×2 л/мин, 1500 л/мин, 3000 л/мин.
- Для сухих: объем адсорбционного барабана 100 л или 200 л.
- Для жидкостных: 600 л/мин.

Совместимые технологические
процессы:

- Химическое осаждение из газовой фазы (CVD — Chemical Vapor Deposition)
- Физическое осаждение из паровой фазы (PVD — Physical Vapor Deposition)
- Эпитаксия (Epi — Epitaxy)
- Диффузия (Diff — Diffusion)
- Плазмохимическое травление (Etch — Plasma Etching)
- Ионная имплантация (IMP — Ion Implantation
- Атомно-слоевое осаждение (ALD — Atomic Layer Deposition)
- Металлоорганическое химическое осаждение (MOCVD — Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)
- Осаждение из паровой фазы с использованием металлорганических соединений (также MOCVD, для светодиодов и лазерных диодов)

Эффективность удаления (DRE):

до 99,999 % для основных токсичных компонентов (зависит от типа газа и модели)

Температура отходящих газов на входе:

до 600 °C (для дожиговых и термических моделей – с предварительным охлаждением или без).

Материалы корпуса и газового тракта:

нержавеющая сталь 316L, кислотостойкие полимеры (PTFE, PFA), уплотнения Kalrez®/Viton® – устойчивы к агрессивным средам

Потребляемая электрическая мощность:

от 2 кВт (жидкостные модели) до 15 кВт (плазменные с нагревом)

Уровень шума:

≤ 75 дБА на расстоянии 1 м (в зависимости от насосного оборудования)

Требования к вспомогательным средам (зависят от типа):

- Сжатый воздух (CDA): 4–6 бар, расход до 400 л/мин.
- Азот (N₂): 4–6 бар, расход до 200 л/мин.
- Охлаждающая вода (PCW/CW): 2–6 бар, расход до 60 л/мин.
- Природный газ (для дожиговых моделей): 2–4 бар, расход до 60 л/мин.
- Кислород (O₂): 2–4 бар, расход до 120 л/мин (для дожиговых моделей).

Время отклика системы на аварию:

≤ 1 секунда (автоматическое перекрытие газа и отключение)

Ресурс сорбента / адсорбционного барабана (для сухих моделей):

до 6–12 месяцев непрерывной работы в зависимости от нагрузки.

Расход нейтрализующей жидкости (для жидкостных моделей):

регулируемый, с возможностью рециркуляции и автоматической доливки

Система управления:

автоматическая на базе ПЛК, сенсорный экран, удаленный мониторинг через шину (Ethernet/IP, PROFINET, Modbus TCP).

Регистрация параметров:

документирование в реальном времени (расходы газов, давление в камере, температура, уровень жидкости, статус клапанов, время наработки)

Безопасность:

- Автоматические блокировки дверей, клапанов и вентилей.
- Контроль отрицательного давления, температуры, дыма/пламени, уровня жидкости.
- Аудио-визуальная сигнализация, кнопка аварийной остановки (E‑stop).
- Многоуровневый доступ (логин/пароль): оператор, технолог, инженер-наладчик.
- Пассивная и активная защита от перегрева и возгорания (термостаты, тепловые предохранители).

Сертификация:

соответствие стандартам SEMI S2, S23, F47, S6 (в зависимости от модели), взрывозащита IIBT4&6, CE (опционально)

Система подогрева входного патрубка и газовых линий (нагревательные ленты с терморегуляцией)

Продувка горячим азотом для очистки магистралей

Водяной или воздушный теплообменник для утилизации тепла (энергосберегающий режим)

Встроенные датчики контроля остаточных газов на выходе (FTIR, масс-спектрометр)

Нагретый трехходовой клапан для переключения потоков без конденсации

Механический скребок на входе для удаления твердых отложений (анти-закупорка)

Система автоматической промывки и доливки жидкости

Дополнительные порты ввода (2, 4, 6 и более) – под заказ

Интеграция с фабричной системой управления (MES, EAP) через OPC UA или SECS/GEM

Модуль дистанционной диагностики и оповещения по электронной почте/SMS

Исполнение для работы в агрессивных средах (повышенная антикоррозионная защита)

Увеличенный барабан для сухих скрубберов (до 300 л)

Ключевое преимущество СЭМ: