Главная / Оборудование / Gas Cabinet - Шкаф газовой безопасности для технологических газов

Gas Cabinet - Шкаф газовой безопасности для технологических газов

Модульный шкаф с принудительной вытяжкой для хранения и подачи коррозионных, токсичных и легковоспламеняющихся газов в полупроводниковом производстве

Получить предложение

Фотоника и оптоэлектроника

Органическая электроника

МЭМС

Кремниевая электроника

Силовая электроника

СВЧ

Характеристики

Опции

Общие характеристики

Материал корпуса:

нержавеющая сталь 316L с кислотостойким покрытием

Встроенный датчик утечек (электрохимический / ИК) с порогом 1 ppm

Автоматический запорный клапан при срабатывании аварийной сигнализации

Принудительная вытяжка (скорость потока > 0,5 м/с) с фильтром-нейтрализатором

Управление: сенсорная панель с логированием событий и трендов

Интерфейсы: сухие контакты на внешнюю сигнализацию

Размеры: стандартные 600×600×1800 мм (под заказ)

Опции

Двойной газовый рамп с переключением баллонов "без остановки процесса"

Встроенная система азотной продувки линий перед заменой баллона

Удалённый мониторинг через SCADA с SMS-оповещением при аварии

Ключевое преимущество СЭМ:

Нанометрическое разрешение в сочетании с большой глубиной резкости, позволяющей получать трёхмерные изображения микроструктур. Это критически важно для контроля качества, анализа отказов и обеспечения выхода годных изделий в современном полупроводниковом производстве

Позвоните нам +7 (495) 150 95 46

Или оставьте запрос на коммерческое предложение
и дополнительную информацию в этой форме

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.

Назад