Главная / Оборудование / Chiller - Система водяного охлаждения для технологического оборудования

Chiller - Система водяного охлаждения для технологического оборудования

Прецизионная система жидкостного охлаждения с замкнутым контуром для стабилизации температуры в процессе напыления, травления, литографии и других вакуумных операций

Получить предложение

Фотоника и оптоэлектроника

Органическая электроника

МЭМС

Кремниевая электроника

Силовая электроника

СВЧ

Характеристики

Опции

Общие характеристики

Диапазон регулировки температуры:

+5 … +35 °C (стабильность ±0,1 °C)

Холодопроизводительность:

от 2 кВт до 20 кВт (в зависимости от модели)

Расход охлаждающей жидкости:

10–60 л/мин (деионизированная вода или водно-гликолевая смесь)

Давление на выходе:

регулируемое, до 6 бар

Встроенный фильтр тонкой очистки (5 мкм) и УФ-обеззараживание контура

Интерфейсы управления: Ethernet, RS-485, аналоговые сигналы 4–20 мА

Регистрация параметров (температура, давление, расход) с выводом на сенсорный экран

Аварийная сигнализация при перегреве, падении расхода или утечке

Уровни доступа: оператор, сервисный инженер, администратор

Компактный монтаж (19" стойка или напольное исполнение)

Опция дистанционного управления и интеграции в общую систему завода

Опции

Дополнительный теплообменник для работы с агрессивными средами

Насосная станция с резервированием (N+1)

Расширенный диапазон температур (–10 … +60 °C)

Встроенный байпас и регулируемый клапан для точного расхода

Интерфейс под SCADA / SECS / GEM

Шумопоглощающий кожух для чистых помещений

Ключевое преимущество СЭМ:

Нанометрическое разрешение в сочетании с большой глубиной резкости, позволяющей получать трёхмерные изображения микроструктур. Это критически важно для контроля качества, анализа отказов и обеспечения выхода годных изделий в современном полупроводниковом производстве

Позвоните нам +7 (495) 150 95 46

Или оставьте запрос на коммерческое предложение
и дополнительную информацию в этой форме

Поля, обязательные к заполнению, помечены (*).
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь с Политикой конфиденциальности.

Назад